标签: 半导体工艺

美国麻省理工学院(MIT)的研究人员开发出在水中长出亚微观(submicroscopic)线路的方法，可望催生以 液体工艺 (liquid-based process)生产完整 电子元件 的技术。   这种 水热合成 (hydrothermal synthesis)方法，基本上是采用一种注射器，将溶液经由直径仅十分之一毫米(millimeter wide)的毛细管推出，因此不需要用到任何昂贵的 半导体工艺 或设备。研究团队以 微流体 通道(microfluidic channel)中的氧化锌纳米线，制作出LED阵列。该系统能精确地控制纳米线的长宽比(aspect ratio)，生产出包括平板(flat plate)或是长、细线型态的各种东西。   根 据已经刊登在7月10日出版之《Nature Materials》期刊的MIT论文共同作者Brian Chow表示：“人们已经通过其他方式展现对线路型态的良好控制，特别是在较高的温度或是有机溶剂(organic solvents)工艺环境下，而能在水中或是低温的工艺环境下做到一样的效果，是颇具吸引力的。”该技术将可简化采用软性聚合物或塑胶的元件制造。   MIT的研究团队也期望可利用这种方法来制作可置入人脑的微小元件，提供高解析度、长距离感应以及刺激(stimulation)等功能。而据了解，这项横跨物理、纳米材料与应用化学等学科的研究案，是三个研究所好朋友针对更好的电子元件制造方法的讨论结果。   这 三个好朋友除了Chow之外，还有Manu Prakash与论文的主要作者Jaebum Joo。Jo现在是Dow Chemical的资深研究员。他们谈到目前电子元件制造方法缺乏效率，芯片需要先被制造出来、然后封装，最后进行测试。他们意识到，生产微流体元件，封 装会是最后的程序，而测试则是在制造过程中持续进行的步骤。   《电子工程专辑》网站版权所有，谢绝转载   原文链接：http://www.eet-china.com/ART_8800647295_480201_NT_a007f3e6.HTM