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本文档中为您介绍了4线电阻率测量基础,包括体电阻率和表面电阻。还将介绍导体电阻率的测量、半导体晶圆的四点共线探测、范德堡测试结构和程序、小功率测量,纳米线电阻率和本征半导体材料测量等应用举例。探讨一些测量方法和误差源,包括测试线和接触电阻的校准,电压失调补偿,噪声源消除,测量仪器的选择,建立时间的预留以及防护以降低漏电流。CharacterizingtheResistivityofMaterialsandTestStructuresUsing4-WireMethodsMaryAnneTuptaKeithleyInstruments,Inc.AGREATERMEASUREOFCONFIDENCE2012KeithleyInstruments,Inc.ResistivityMeasurementOverviewDefinitionofelectricalresistivityVarious4-wireresistivitymethodsandteststructuresSourcesofmeasurementerrorsandwaystominimizethemKeyconsiderationsforselectingappropriateinstrumentationforoptimalresults.2012KeithleyInstruments,Inc.WhatistheElectricalResistivityofaMaterial?Theelectricalresistanceofamaterial……isabasicmaterialpropertydefineshowwellthematerialwillconductanelectric……