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时间: 2020-1-13 14:39
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hfss仿真设计毫米波微带filter微机械毫米波带通滤波器的设计付佳辉吴群孟繁义LeeJongchul*哈尔滨工业大学电子与通信工程系哈尔滨市西大直街92号工大主楼336信箱(150001)Email:qwu@hit.edu.cn*KwangwoonUniversity,Korea摘要:本文提出一种微机械毫米波带通滤波器的设计。与传统的微带传输线不同,该滤波器采用LIGA工艺制作而成,其微带传输线电路拓扑具有高深宽比的微带带条的三维传输线耦合线节结构,在数10μm宽度的带条上实现高度为100μm的金属结构,从而在毫米波段实现低损耗、强耦合、频带宽的良好性能。与传统微带传输线相比,能够承受更大功率,使得高功率单片集成电路制造成为可能。实验样机测试结果表明,在中心频率33.2GHz实现3dB带宽为40%,插入损耗为1.7dB的良好特性。本文给出该滤波器仿真分析和性能测试结果。关键字:毫米波,耦合微带线,传输线,滤波器Abstract:Thispaperintroducesamicromachinedmillimeter-waveband-passfilterfabricatedusingLIGAtechnology.TheLIGAprocess,whichisdifferentwiththetraditionaltransmissionlines,allowstall(10m1mm),high-aspectratiometalstructurestobeveryaccuratelypatternedonwidthof100mmetalstructure.Thetopologyofmicrostriptransmissionlinesh……