hfss仿真设计毫米波微带filter 微机械毫米波带通滤波器的设计 付佳辉 吴群 孟繁义 Lee Jongchul* 哈尔滨工业大学电子与通信工程系 哈尔滨市西大直街 92 号工大主楼 336 信箱(150001) Email:qwu@hit.edu.cn *Kwangwoon University,Korea 摘要： 本文提出一种微机械毫米波带通滤波器的设计。与传统的微带传输线不同，该滤波器采用 LIGA 工艺制作而成，其微 带传输线电路拓扑具有高深宽比的微带带条的三维传输线耦合线节结构，在数 10μm 宽度的带条上实现高度为 100μm 的金 属结构，从而在毫米波段实现低损耗、强耦合、频带宽的良好性能。与传统微带传输线相比，能够承受更大功率，使得高功 率单片集成电路制造成为可能。实验样机测试结果表明，在中心频率 33.2GHz 实现 3dB 带宽为 40%，插入损耗为 1.7dB 的良 好特性。本文给出该滤波器仿真分析和性能测试结果。 关键字: 毫米波,耦合微带线,传输线,滤波器 Abstract: This paper introduces a micromachined millimeter-wave band-pass filter fabricated using LIGA technology. The LIGA process, which is different with the traditional transmission lines, allows tall (10 m 1mm ), high-aspect ratio metal structures to be very accurately patterned on width of 100 m metal structure. The topology of microstrip transmission lines h……