原创 ZZSX-800真空镀膜机使用方法

一、电控柜的操作

1.       开水泵、气源

2.       开总电源

3.       开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。

4.       开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。

5.       观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10^-3以后才能开电子枪电源。

二、DEF-6B电子枪电源柜的操作

1.       总电源

2.       同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。

3.       开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，

灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。

三、关机顺序

1.       关高真空表头、关分子泵。

2.       待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。

3.       到50以下时，再关维持泵。

ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月

镀膜室尺寸：￠800mm×1000mm

极限压力：5×10-4 Pa

抽气时间：从大气压抽至2×10-3 Pa，<15min

2006年11月17日星期五