Scope-shot(图1)用来验证正确的连接和系统设置。图1所示的波形是一个典型的测试结果,实际结果应该与此相似。如果波形具有显著的振铃或过冲,脉冲IV测试将不会提供良好的结果。检查脉冲的互连以确保适当的电缆,并确保所有连接牢固可靠。如果使用4200-PRB-C(Y适配器电缆是脉动,具有直流互联和结构),需要确保这两个地是连接在一起的。
图1. Scope-shot选项页显示的是100ns的脉宽。正脉冲曲线(蓝色),左边Y轴所示,是在4200-SCP2的通道1上看到的门极电压。负脉冲曲线(红色),右边Y轴所示,是420-SCP2通道2上看到的Vd响应电压。这些数值无法校准。要得到漏极电流,需要将Vd响应曲线除以50ohm。
正脉冲曲线(蓝色)是施加在门极的脉冲,如在示波器上看到的一样。请注意显示的波形数据没有使用任何校正因子。这就意味着当使用默认脉冲IV的设置时,到门极的源脉冲低于预期值。为了得到近似正确的门极脉冲电压,波形数据乘以1.36来得到施加在DUT门极引脚的电压。负脉冲曲线(红色)是漏极响应。
Scope-shot的UTM有比其他脉冲IV例程更多的参数,如上升/下降时间和直流偏移,所以它也可以用于单脉冲瞬态测试的调研或样机。
可调参数
PulseWidth |
Vgs脉宽,全宽半幅(FWHM) |
PulseAmplitude |
Vgs,门极脉冲 |
GateRange |
SCP2栅极电压范围,手动设置,SCP2以零为中心,所以示波器5V的范围为- 2.5V至+2.5 V。举例说明,对于3V信号,使用GateRange= 10(- 5V至+5 V),而非5(-2.5至+2.5 V)。4200-SCP2的可用范围为:0.05,0.10,0.25,0.5,1,2,5,10 V。 |
DrainRange |
SCP2的漏极电压范围,手动设置。要计算出合适的范围,使用DrainRange=(估计Id)× 50 ×2。以上为有效的SCP2范围。 |
PulsePeriod |
Vgs脉冲周期。当使用4200 RBTs进行脉冲IV的设置时,脉冲周期≥1000 ×脉冲宽度,保持脉冲占空比≤0.1%。在大多数情况下,最好使用200E-6,这将允许在整个40-150 ns脉冲宽度范围具有适当的占空比。 |
AverageNum |
平均脉冲个数。对于较大的电流,Id≥500uA,通常平均个数=5就足够了。对于更小的Id,使用20-25的平均个数。值越大,提供的额外改善越少。请注意,所有的脉冲IV测试都具有这个设置,它控制有多少个脉冲用于返回一个结果,而不是发送到DUT的脉冲数量。 |
DrainBias |
Vd,DUT门极的直流电压 |
VPUID |
4200-SCP2的验证码。VPUID=VPU1 |
DrainSMU |
Vd的SMU。默认是SMU2,但是可以使用其他的SMU。 |
所有的其他参数可用于单脉冲研究或其他调研。例如,scope-shot的上升和下降时间是不同的,用于瞬态、单脉冲和测试。这个例程具有最小的参数检查,允许尽可能宽的数值范围。
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