原创 制造是薄弱环节，中国MEMS产业需持开放态度迎接“外来和尚”

MEMS产业近年来在中国得到快速发展，市场分析人士预测，中国将成为未来五年MEMS产业发展最快的地区，MEMS将越来越多地在消费电子、汽车工业、工业控制乃至生物医学、航空航天等领域扮演重要角色。

近十年来，一大批晶圆代工厂和封装测试厂在国内崛起，国外MEMS相关的设计软件、设备、材料厂商也相继在中国设立了代表处和工厂，与此同时，中国本土的设备材料企业也在迅速成长，其成本优势力也不容忽视。但是，相比国际先进水平，基础理论研究、设计、制造工艺等方面仍有相当大的进步空间。中国物联网研究发展中心（CIT-China）相关人士表示，中国MEMS产业尚处于发展初期，需持开放性态度对待产业链各环节力量。

为响应中国的‘十二五’规划，中国物联网研究发展中心（CIT-China）在建设和促进整个中国的物联网产业生态系统方面投入了巨大精力，其中包括在无锡建设了一个MEMS 开发公共平台。

日前，CIT-China宣布与美国的专业MEMS制造商Innovative Micro Technology, Inc.（IMT）签署谅解备忘录（MOU），达成了建立长期战略合作伙伴关系的意向。那么，此举能为中国MEMS产业带来哪些积极的影响？

CIT-China方面表示，引入IMT是产业需要，借助IMT的领先优势，能够改善中国MEMS产业的弱势环节——制造。利用 IMT 所提供的全球领先MEMS 产品开放式代工服务，可增强当地MEMS设计的商业化能力，而这对于国内无晶圆厂 MEMS 公司的发展，以及整个MEMS产业链的优化完善将大有裨益。中国MEMS的设计企业能够足不出户可以将设计交给专业的代工企业，减少了寻找合作伙伴的时间。

毫无疑问，这一合作对于IMT拓展在中国的业务是极为重要的一步。IMT公司全球销售副总裁 Paul Pickering表示，IMT 已经确定将中国市场纳入该公司的长期增长战略。近年来，IMT 已与许多中国新客户建立了合作关系，此次与 CIT-China 的合作将进一步帮助IMT提高市场份额、了解更多当地专业技术。据其透露，目前IMT在中国的代工业务占其全球业务的5%，未来可能提升到20%~25%。

考虑到MEMS产业仍处于初级阶段，过早地引入国外先进技术力量会否影响中国本土企业的发展壮大？对此，CIT-China智能传感器工程中心颜苑表示，这一举措对于产业的发展有积极意义，因为有领先技术优势的国外企业能帮助国内MEMS设计企业的解决方案尽快商品化，同时，良性的竞争也能促进中国本土MEMS企业的快速成长。

IMT何以担此重任？

IMT是美国最大的纯 MEMS 代工厂，在 MEMS 的设计和制造方面拥有超过 14 年的丰富经验，为光学通信、生物科技、红外、射频和导航产业领域开发和生产了一批又一批具有突破性技术的MEMS器件。

IMT的技术平台主要包括硅通孔（TSV) 技术、MEMS 硅插入器、高密封性晶圆级封装 (WLP)、NanoSorter罕见细胞分选平台、Cenfire射频开关平台以及微流体技术平台。其中，硅通孔是未来关键技术的代表之一，它们是实现大型 3D 封装的关键促成因素；MEMS 硅插入器是用于 3D 集成和晶圆级封装的多层印刷电路板的下一步计划，可在极小的空间内实现电气连接；高密封性晶圆级封装 (WLP) 是 IMT 的关键技术能力，超过 80% 的项目均采用晶圆级封装，有些项目的集成和小型化所需的晶圆多达 5 片。

Paul Pickering表示，除了先进的技术平台支持，IMT还拥有先进的业务开发能力，进入新市场与寻找新客户的效率都非常高，有信心能够帮助中国客户快速从单纯的MEMS概念转移到大批量生产上来。