原创 MEMS技术：现状与未来趋势

        就定义而言，MEMS(微机电系统)是感知、计算和执行的融合。它也是一种制造技术。它本身并不是某种产品。它为什么重要？从根本上说， MEMS把电子和机械特性结合了起来。它可以同时执行物理、化学、生物等方面的功能，因为它能同时发生化学反应和电作用。它实质上是终极的片上系统，是科学和技术的终极融合，而且生物也可以与之兼容。　　

　　从MEMS市场的角度来看，2005年MEMS原材料的市场规模是3.85亿美元，这些是与MEMS产品和半导体产品直接相关的。到2010年会翻一番，CAGR(年复合增长率)可以达到15%。2005年器件的市场规模是53亿美元，在2010年可以达到100亿美元。更重要的是，希望大家看看MEMS系统，它将是采用了MEMS产品的最终电子产品，到2010年，其规模将达到950亿美元。　　

　　如今，MEMS的应用对象都是最常见的东西。TI的DLP是一种MOEMS(微光机电系统)，还有喷墨打印头，这是MEMS的两个最大的应用领域。但是，当前还有相当一些应用，其历史甚至比这两种产品更长，其中大多数是在汽车方面，例如气囊传感器及相应的执行器，燃油系统中所采用的气压传感器和氧气传感器。在车身上也有MEMS，如GPS、麦克风，这些领域是未来几年中将取得巨大增长的领域。在声学方面，有公司在经营相应的业务，包括用于手机的麦克风，手机中的防冲击装置中的动作检测和执行等功能。　　

　　最后一种是生物医学传感器，可以植入人体。这也将是未来会获得巨大增长的领域。你可以在这里看到一些昔日的设想变成了现实，有DNA分析仪和光开关，他们是5年前所实现的，现在不那么引起人们兴趣了。MEMS是科学和技术的聚合体，汇集了各方面的学科，如化学、通信、医疗、影音、光学、电子、机械，合成为终极的片上系统，如MOEMS。