原创 石英晶振生产流程之晶片镀膜工艺

第二篇石英晶片镀膜工艺

目的
在已清洗好的石英晶片上,用真空电镀的方法,蒸发上一定厚度的金属导电薄膜,并达到一定的镀膜频率。
材料、零部件
1已清洗干净的石英片
2银丝(99.99％)
3无水乙醇（分析纯）
4 钼舟
5黑布
6白布
7手指套
8 手套
设备及工装
1镀膜机（SBC－6SA）
2 镀膜夹具
3镊子
4 布板
5电吹风（450w）
6阻抗计（CZ6， f±5×10-6）
7 频率计（＜1×10-7）
8 电极板
9 洗耳球
10水盒
操作过程
1将镀膜夹具用无水乙醇清洗一遍， 吹干备用。
2打开镀膜机预热，同时检查监控系统、钼舟、清理机器并按要求设置好控制系统。
3 按技术要求选用镀膜夹具，将石英片放入夹具槽内，上好螺丝。
4 将上好螺丝的夹具放到弧形架上，在钼舟里加上适量银丝。
5 用洗耳球吹去夹具和真空室台面上的银屑和灰尘。
6 按“start”键， 使机器进入自动工作状态。
7 当真空度达到预置值＜6.7×10-3Pa或＜5×10-5Torr时,听到报警声,调节电流,开始蒸发,镀第一面。
8 第一面镀好银后，按翻转按钮使夹具翻转，待翻转完毕，调节电流镀第二面。
9 待第二面镀膜完毕后等待20秒钟， 按“Reset”键放气取片。
10 取一块夹具，测量其上部一片，中间和下部各两片振子的频率，看是否符合要求，若频率比要求频率偏高，必须重镀一遍，若频率低于标称频率，则全部腐蚀掉银层返工，若频率符合要求作好记录，然后卸下全部夹具，将振子摊派放在布板上。
11重复3－9工步，将所有欲镀膜的石英片镀好。
自检
1银层应无脏迹、银珠、银屑。
2 电极大小要符合要求， 两面电极要对称。
3振子的镀膜频率应符合技术要求。
注意事项
1操作时必须穿戴工作服、帽、手套或手指套。
2 钼舟、银丝必须用无水乙醇清洗干净，吹干使用。
3已清洗8小时以上的石英片，镀膜前需用无水乙醇清洗。
4 镀膜真空度必须保证。
5 蒸发时电流一定要缓慢加到峰值。
6 两面电极膜厚应基本相等。
7振子不 能堆放，不能长时期暴露在空气中， 不合格片要及时返工。

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