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MEMS加速度计的外壳设计
资料介绍

为MEMS加速度计设计一个结构良好的机械外壳,确保从受监控资产中提取高质量的CbM振动数据。用于封装MEMS加速度计的机械外壳需要具备比集成式MEMS更出色的频率响应。本文利用模态分析,提供外壳设计可能实现的固有频率。通过理论和ANSYS模态仿真示例,提供振动传感器设计指导。结果显示,几何效应,例如外壳形状(圆柱形或矩形等)和高度主导了外壳设计的固有频率。本文给出了封装单轴和三轴MEMS加速度计的机械设计示例,其谐振频率为21 kHz。本文还提供在外壳中集成环氧树脂的指导以及传感器的电缆安装和安装选项。

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