参数表征既需要进行电流－电压（IV）测量，也需要进行电容－电压（CV）测量。目前开发的制程技术通常需要通过单通道对晶圆上器件进行精确的 IV 和 CV 测量。Keysight B1500A 半导体器件分析仪在单台主机中使用一个新的单插槽多频率电容测量单元（MFCMU）和两个 SMU 单元，能够支持单通道的 IV 和 CV 测量。
参数表征既需要进行电流－电压（IV）测量，也需要进行电容－电压（CV）测量。目前开发的制程技术通常需要通过单通道对晶圆上器件进行精确的 IV 和 CV 测量。Keysight B1500A 半导体器件分析仪在单台主机中使用一个新的单插槽多频率电容测量单元（MFCMU）和两个 SMU 单元，能够支持单通道的 IV 和 CV 测量。
