标签: 探针台选型

在选购真空探针台的时候我们需要注意 的 问题 如下： （1）真空度的要求 （2）测试类型：如直流或高频 （3）样品分辨率要求 （4）样品尺寸 （5）探针操作装置数量 （6）探针操作精度要求 （7）测试精度：如fA/pA/nA的要求 （8）其它预留接口要求。如光纤接品。 （9）其它组件的配置

探针台 是一种很专业的仪器，它主要的功能就是针对半导体元件进行检测，这里面说的半导体元件指的是集成电路，分立器件，光电器件，传感器等元件以及封装的测试。通过探针台配合测量仪器可完成集成电路的电压，电流，电阻和电容电压特性曲线等参数检测。可以适用于对芯片进行科研分析，抽查检测等；可以保证这些半导体元件的质量，缩短研发时间和器件制作工艺的成本，所以，它的存在对于制造半导体的企业来说是非常重要的。 以下是 探针台选型注意事项 ※ zui 大需要测几 inch 的晶圆或者器件？是否需要测试破片或者单颗芯片，最小的单颗芯片尺寸？ ※探针台机械精度要求多高？ ※点测样品的电极尺寸？ 100μm *100μm 或 60μm *60μm 的 pad ，还是 FIB 制作的 mini pad ，或者 ic 内部的 metal 线路？ ※最多需要几个探针同时去点测？ ※是否会用到探针卡测试？ ※光学显微镜的最小分辨率需要用到多少？ ※显微镜方面，是否需要添加偏光片做 LC 液晶热点侦测？ ※探针点测时，对电流的要求 能 否达到 100fa 或者以下？低 电容要求 能 否要做到 0.1pf ？ 是否有射频需求？ ※接驳的测试仪器接口有哪些？ ※测试环境时是否会需要加热或者降温？ 是否需要密闭腔体？ ※对 chuck 的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗 chuck ？ ※是否需要防震桌？ ※若添置防震桌，是否有压缩空气？

探针台，是我们半导体实验室电学性能测试的常用设备，也是各大实验室以及芯片设计、封装测试的熟客。设备具备各项优势，高性能低成本，用途广，操作方便，在不同测试环境下，测试结果稳定，客观，深受工程师们的青睐。那么，我们在选用探针台的时候需要注意哪些事项呢? 探针台选型注意事项： ※ * 大需要测几 inch 的晶圆或者器件 ？ 是否需要测试破片或者单颗芯片，最小的单颗芯片尺寸？ ※ 探针台机械精度要求多高？ ※ 点测样品的电极尺寸？ 100μm *100μm 或 60μm *60μm 的 pad ，还是 FIB 制作的 mini pad ，或者 ic 内部的 metal 线路？ ※ 最多需要几个探针同时去点测？ ※ 是否会用到探针卡测试？ ※ 光学显微镜的最小分辨率需要用到多少？ ※ 显微镜方面，是否需要添加偏光片做 LC 液晶热点侦测？ ※ 探针点测时，对电流的要求是否达到 100fa 或者以下？低电容要求是否要做到 0.1pf ？ 是否有射频需求？ ※ 接驳的测试仪器接口有哪些？ ※ 测试环境时是否会需要加热或者降温？ 是否需要密闭腔体？ ※ 对 chuck 的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗 chuck ？ ※ 是否需要防震桌？ ※ 若添置防震桌，是否有压缩空气？