原创 探针台选型注意事项分析

探针台，是我们半导体实验室电学性能测试的常用设备，也是各大实验室以及芯片设计、封装测试的熟客。设备具备各项优势，高性能低成本，用途广，操作方便，在不同测试环境下，测试结果稳定，客观，深受工程师们的青睐。那么，我们在选用探针台的时候需要注意哪些事项呢?

探针台选型注意事项：

※*大需要测几inch的晶圆或者器件？是否需要测试破片或者单颗芯片，最小的单颗芯片尺寸？

※探针台机械精度要求多高？ 

※点测样品的电极尺寸？100μm *100μm或60μm *60μm的pad，还是FIB制作的mini pad，或者ic内部的metal线路？ 

※最多需要几个探针同时去点测？ 

※是否会用到探针卡测试？ 

※光学显微镜的最小分辨率需要用到多少？ 

※显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测？ 

※探针点测时，对电流的要求是否达到100fa或者以下？低电容要求是否要做到0.1pf？是否有射频需求？ 

※接驳的测试仪器接口有哪些？ 

※测试环境时是否会需要加热或者降温？ 是否需要密闭腔体？

※对chuck的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗chuck？ 

※是否需要防震桌？ 

※若添置防震桌，是否有压缩空气？