原创 探针台选型应该注意哪些事项

探针台是一种很专业的仪器，它主要的功能就是针对半导体元件进行检测，这里面说的半导体元件指的是集成电路，分立器件，光电器件，传感器等元件以及封装的测试。通过探针台配合测量仪器可完成集成电路的电压，电流，电阻和电容电压特性曲线等参数检测。可以适用于对芯片进行科研分析，抽查检测等；可以保证这些半导体元件的质量，缩短研发时间和器件制作工艺的成本，所以，它的存在对于制造半导体的企业来说是非常重要的。 

※zui大需要测几inch的晶圆或者器件？是否需要测试破片或者单颗芯片，最小的单颗芯片尺寸？
※探针台机械精度要求多高？ 
※点测样品的电极尺寸？100μm *100μm或60μm *60μm的pad，还是FIB制作的mini pad，或者ic内部的metal线路？ 
※最多需要几个探针同时去点测？ 
※是否会用到探针卡测试？ 
※光学显微镜的最小分辨率需要用到多少？ 
※显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测？ 
※探针点测时，对电流的要求能否达到100fa或者以下？低

电容要求能否要做到0.1pf？是否有射频需求？ 
※接驳的测试仪器接口有哪些？ 
※测试环境时是否会需要加热或者降温？ 是否需要密闭腔体？
※对chuck的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗chuck？ 
※是否需要防震桌？ 
※若添置防震桌，是否有压缩空气？