标签: 工艺控制

扩散工艺概述xcl第三章扩散工艺§1.扩散原理一.扩散流方程图3.1扩散流模型§1.扩散原理§2.典型工艺§3.扩散方法§4.工艺控制和质量监测2005-3-1112005-3-112以下式表示杂质原子流密度以上2－1，2－3分别为Fick’Fick’s扩散N(x,t)第一、第二定律。J=D（2-1）xN=D2N扩散时质量守衡，J随时间变化与随空间变化……

外延工艺控制xcl§1.扩散原理§2.典型扩散工艺方法§3工艺控制和质量检测§4.工艺控制和质量监测一.工艺控制二.质量检测2005-3-1112005-3-112一.工艺控制假片和试片假假污染控制：颗粒、有机物、薄膜、金属离子试片片片污染来源：操作者,清洗过程,高温处理,工具参量控制：温度，时间，气体流量(影响最大?)1.温度控制：源温、硅片温度、升温降温、测温……