外延工艺控制xcl §1.扩散原理 §2. 典型扩散工艺方法 §3 工艺控制和质量检测 §4.工艺控制和质量监测 一.工艺控制 二.质量检测 2005-3-11 1 2005-3-11 2 一.工艺控制 假片和试片 假 假 污染控制：颗粒、有机物、薄膜、金属离子 试 片 片 片 污染来源：操作者,清洗过程,高温处理,工具 参量控制：温度，时间，气体流量(影响最大?) 1.温度控制：源温、硅片温度、升温降温、测温 ……