原创 “迈步在脉冲测试之前”—脉冲校准

运行 AutocalScope

在进行任何脉冲[1]校准之前，应运行AutocalScope。为了获得最佳的脉冲IV结果，也应在当天的第一个实验之前运行AutocalScope。

1. 4200-SCS[2]必须在开机30分钟后才可以进行任何校准或测量。
2. 在项目导航栏（图1）中双击AutocalScope。

图1.  4200 PulseIV-Complete项目的截图，对项目导航栏做了解释。

3. 点击绿色的Run按钮。
4. 按照弹出对话框上的指示，从4200-SCP2上断开所有的连接。
5.  SCP2执行一个autocal大概约需要1分钟。
6. 当运行按钮是绿色时即完成了测试。在工作​​表选项页中，AutoCalStatus=0意味着没有错误。

1. 重新给4200-SCP2连接电缆。将电缆连接到4200-SCP2触发SMB连接器上时要小心。

运行PulseIVCal

通过运行scope-shot来验证正确的设置。对于在晶圆上的测试，要具有一个直通的、或短的可用结构，或确保门极和漏极探头所共用的焊盘可以提供良好的连接。有断开和直通/短路这两个步骤进行校准。
 

1. 如果尚未执行，运行上述的AutocalScope程序。
2. 双击项目导航栏的PulseIVCal。
3. 点击绿色的“Run”按钮来启动PulseIVCal。
4. 第一个对话框中点击“OK”来继续PulseIVCal（图2中，左边的对话框）。
5. 第二个对话框要求探针从晶圆[3]上抬起，断开接触。提起探针或降低晶圆来进入断开状态。
6. 在打开对话框（图2，中间对话框）中点击“OK”。打开部分约需1分钟。

图2. 三个独立的PulselVCal对话框：初始化，开路Cal，直通Cal

7. 第三个对话框要求探针通过直通设备彼此相连。将探针降低到直通设备上。
8. 在直通对话框（图2，右对话框）中点击“OK”。直通部分约需1分钟。
9. “Run”按钮是绿色时完成了测试。在工作​​表选项页，cal_pulseiv = 0意味着没有错误。
10. 该系统现已准备就绪来测试常规设备。

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