原创 “迈步在脉冲测试之前”—脉冲校准

2011-12-21 16:49 1775 22 22 分类: MCU/ 嵌入式
运行 AutocalScope

在进行任何脉冲[1]校准之前,应运行AutocalScope。为了获得最佳的脉冲IV结果,也应在当天的第一个实验之前运行AutocalScope。

1. 4200-SCS[2]必须在开机30分钟后才可以进行任何校准或测量。

2. 在项目导航栏(图1)中双击AutocalScope。

图一.jpg

图1.  4200 PulseIV-Complete项目的截图,对项目导航栏做了解释。

3. 点击绿色的Run按钮。

4. 按照弹出对话框上的指示,从4200-SCP2上断开所有的连接。

5. SCP2执行一个autocal大概约需要1分钟。

6. 当运行按钮是绿色时即完成了测试。在工作​​表选项页中,AutoCalStatus=0意味着没有错误。

7. 重新给4200-SCP2连接电缆。将电缆连接到4200-SCP2触发SMB连接器上时要小心。

运行PulseIVCal

通过运行scope-shot来验证正确的设置。对于在晶圆上的测试,要具有一个直通的、或短的可用结构,或确保门极和漏极探头所共用的焊盘可以提供良好的连接。有断开和直通/短路这两个步骤进行校准。
 

1. 如果尚未执行,运行上述的AutocalScope程序。

2. 双击项目导航栏的PulseIVCal。

3. 点击绿色的“Run”按钮来启动PulseIVCal。

4. 第一个对话框中点击“OK”来继续PulseIVCal(图2中,左边的对话框)。

5. 第二个对话框要求探针晶圆[3]上抬起,断开接触。提起探针或降低晶圆来进入断开状态。

6. 在打开对话框(图2,中间对话框)中点击“OK”。打开部分约需1分钟。

图二.jpg

图2. 三个独立的PulselVCal对话框:初始化,开路Cal,直通Cal

7. 第三个对话框要求探针通过直通设备彼此相连。将探针降低到直通设备上。

8. 在直通对话框(图2,右对话框)中点击“OK”。直通部分约需1分钟。

9. “Run”按钮是绿色时完成了测试。在工作​​表选项页,cal_pulseiv = 0意味着没有错误。

10. 该系统现已准备就绪来测试常规设备。

了解更多信息
 了解有关4200-SCS型半导体特性分析系统的更多信息,可点击http://www.keithley.com.cn/products/dcac/sensitive/?path=4200-SCS/Documents ,或登录微博http://weibo.com/keithley与专家进行互动。

 



[1] 脉冲:http://www.keithley.com.cn/semi/4200scs/4200piv

[2] 4200-SCS:http://www.keithley.com.cn/products/semiconductor/parametricanalyzer/4200scs

[3] 晶圆:http://www.keithley.com.cn/products/semiconductor/reliabilitytestsolutions/4200scs/?path=ACS-WLR/Documents

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