从迈入深亚微米的180nm 工艺开始,集成电路经历了130nm、90nm、65nm,到目前正趋于实用的45nm 工艺,每一代工艺大体上将有效沟道长度降到前一代的0.7 倍,单位数目器件所占平均面积降为原来的1/2。芯片在生产时的主要成本来自芯片的面积,工艺进步所带来的面积降低就满足了人们降低成本的需求 ,毕竟在主流的消费类电子领域成本是占据主导地位的;同时,工艺的进步也能够在相同的面积上集成更多的逻辑器件,也就意味着能够提供更多的功能。过大的芯片面积将会使得生产成品率急剧降低,最终,直接影响芯片产品的价格。因此,在开发新工艺方面,降低面积始终是作为第一主导因素存在的。随着加工尺寸的缩小,芯片的各种参数都在发生着变化,而电学指标中的工作电压也随之降低,这带来的直接影响就是芯片总功耗的降低。芯片的功耗主要有三个组成部分:静态功耗(Static Power,也称为漏电功耗——Leakage Power)、内部功耗(Internal Power)和翻转功耗(Switching Power)。这三者都与工作电压有着直接的联系,大体上可以认为与电压的平方成正比。每一次工艺的改变都伴随着芯片工作电压的进一步降低,从180nm 工艺的1.8V 到65nm 的 1.0V,虽然不像芯片尺寸缩小得那么明显,但也无疑大大缓解了芯片总功耗的压力。同时,芯片特征尺寸的缩小也降低了芯片内晶体管及互连线的负载,使得动态功耗(内部功耗加上翻转功耗)进一步降低。就互连线而言,线宽和线高度的缩小,减小了横截面积,这么做虽然增加了电阻,但是对于各个表面的平板电容值都减小了很多,而且由于芯片面积的缩小,互连线的长度必然缩小,使得互连线的总负载(电容、电阻)减小。而对晶体管来说,栅氧化硅层(以下简称栅氧层)厚度减少使得单位面积的漏电流变大,栅与衬底之间的电容变大,但是栅面积也同时在缩小,总体而言还是芯片总功耗降低的效果更大一些。这意味着可以使用成本更低的封装及散热设备,也意味着芯片具有更高的稳定性和可靠性。
用户1499292 2009-10-16 13:21