拍照评估:取晶后将晶粒置于显微镜下,初步观察测量工艺制程(线宽,Metal层数和Poly层数),拍出芯片上层概貌图,给出建议拍照倍率,整合上述内容生成评估报告。如需更为精确的评估报告,需在取晶后进一步去层至poly层,方可给出。
芯片概貌图例(注:下图与真实工程图相比,已等比缩小至原概貌图3%左右)
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