原创 取晶拍照评估

2009-11-25 14:24 1345 5 5 分类: 测试测量



取晶:以化学腐蚀的方法将晶粒(die)从封装中取出,以利下一步拍照评估,层次去除或其他分析的进行。

拍照评估:取晶后将晶粒置于显微镜下,初步观察测量工艺制程(线宽,Metal层数和Poly层数),拍出芯片上层概貌图,给出建议拍照倍率,整合上述内容生成评估报告。如需更为精确的评估报告,需在取晶后进一步去层至poly层,方可给出。


芯片概貌图例(注:下图与真实工程图相比,已等比缩小至原概貌图3%左右)


点击看大图



 

PARTNER CONTENT

文章评论0条评论)

登录后参与讨论
我要评论
0
5
关闭 站长推荐上一条 /3 下一条