原创 第五篇真空微调工艺

第五篇真空微调工艺

目的
用真空镀膜的方法把谐振件的频率调整到要求的范围内。
材料、零部件
1已清洗的谐振件
2银丝（99.99%）
3钼舟
4带孔外壳(J3A)
5已套衬套的外壳(JA3)
6无水乙醇（分析纯）
7脱脂棉
8黑布
9手指套
设备及工装
1真空微调机（SC－6SA）
2阻抗计（CZ6、C28；f：±5×10-6，R1：±10%）
3频率计E312，＜1×10-7
4标准石英晶体元件
5电阻焊插盘
6镊子
7吸尘器
8大剪刀
准备工作
开微调机至少预热20分钟，然后设置微调机。
进行清机处理。
1用镊子将蒸发器内的银渣抠掉。
2用吸尘器将机内的小浮银吸干净。
3用脱脂棉蘸无水乙醇擦钟罩及密封圈。
4开阻抗计、频率计预热30分钟后，按要求调好阻抗计。
5将两手拇指、食指和中指戴上手指套。
操作过程
1在阻抗计上测一只谐振件，用所测出的频率校正微调机。
2将谐振件插在微调圈上，并套上带孔外壳。
3将微调圈安放在微调机上，在钼舟里加上适量的银丝，盖好小盖，扣上钟罩。
4将挡板控制开关放在OFF位置，步进开关放中间档，并初步设置好三圈电流，按“START”键。
5当真空度达到预置值（1×10-4TORR）时开始微调，微调时注意频率的变化。
6微调结束后“END”指示灯亮，等待20秒钟后，按“Reset”放气，取出微调圈。放上另一盘待调谐振件，重复3~5工步。
7在阻抗计上测试微调好的谐振件，合格者整齐地平放在黑布上。
8将合格的谐振件套上外壳，倒插在电阻焊插盘上，送封焊工序。
9工作结束后，打扫机器及工作台面。有人接班将机器设置在待机状态；无人接班时，先关扩散泵，20分钟后再关总电源。
自检
1振子银层上严重划痕，有脏迹的为不合格品。
2振子上有裂纹的，破边的为不合格品。
3微调银层严重偏离电极的为不合格品。
4谐振频率、谐振电阻必须符合技术要求。
5将产品送交检验员。
说明：更换频率点或环境变化较大时，车间技术员或工艺员将第一机产品抽30~50只测其频率并记录，送电阻焊工序封焊，然后再测其频率并记录。
注意事项
1严禁裸手接触谐振件任何部位。
2微调银层不得偏离原电极，且一面微调量不得太多。
3调频率时速度不宜太快，更不能将频率调低。
4换新钼舟时应空加热一次。
5不得用绸布、金属丝微调频。
6微调机开或关，一定要预热或冷却20分钟以上。