半导体特性分析实验室、技术开发实验室、建模[1]实验室和可靠性实验室经常需要各种不同的源测量仪器,并且需要连接至多个装置。开关系统[2]可以确保测试条件和测量具有极高的可靠性。如图1所示,器件引脚与仪器之间的各种连接的可能性使得矩阵成为一种合适的开关配置。
图1:典型的半导体开关系统。
如今的半导体器件都有更加严格的要求,它们往往需要更加理想的器件行为,比如,需要器件在关断时漏电更少。器件漏电流[3]发生小幅变化往往是出现制造缺陷和可靠性问题的征兆。这些器件要求往往会形成开关系统要求。
虽然大多数半导体应用都需要灵敏度,但是也并非每个测量都需要。低电流测量需要较长的稳定时间,但是将该时间负担强加到所有的器件可能会造成麻烦。这对于过程控制监控应用来讲特别重要,在这种应用中,必须快速完成测试,以便微调制造工艺,最大限度地减少产品浪费。
吉时利公司为全球半导体厂商提供开关解决方案已有几十年的经验。吉时利最新的大型707B型[4]和708B[5]型开关主机延续了这一传统,这两款开关主机具有新型数字用户界面设计,可提供较高的开关速度,更加简单易用,并且不会干扰开关矩阵卡的低电流灵敏度。
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[1] 建模http://www.keithley.com.cn/products/localizedproducts/semiconductor/4200scs
[2] 半导体开关系统http://www.keithley.com.cn/products/semiconductor/semiswitchsys
[3] 漏电流如何应对?http://www.keithley.com.cn/llm/a/13.html
[4] 707B型开关主机http://www.keithley.com.cn/products/semiconductor/semiswitchsys/Lowcurrentswitchmatrix/?mn=707B
[5] 708B型开关主机http://www.keithley.com.cn/products/semiconductor/semiswitchsys/Lowcurrentswitchmatrix/?mn=708B
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