原创 这是中国最硬核的传感器企业！22家拥有自己的传感器芯片产线！

传感器是高科技产业，但并非所有传感器公司都是高科技企业，尤其是在中国。

国际上，对传感器等半导体企业的划分，一般有IDM、Fabless、Foundry几种，主要根据有无晶圆产线来区分。而中国传感器企业，则存在大量的“第四种”模式，也即组装厂模式，不涉及任何对传感器敏感元件、MEMS芯片的研发。

这其中，IDM模式显然对传感器企业的技术实力和资金实力，考验最大。在中国，有能力做IDM的传感器企业屈指可数，那么，中国有哪些传感器企业是真正的IDM公司？拥有自己的传感器芯片产线？本文资料来自各权威机构和资料，如有纰漏和其他观点，请在传感器专家网公众号本内容底下留言讨论，或在中国最大的传感社区：传感交流圈中进行交流。

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传感器“中国模式”：90%都是组装厂！

一般来说，传统传感器由由敏感元件+转换元件+转换电路构成，最核心的部件是敏感元件。对应MEMS传感器，则是MEMS芯片与信号调理ASIC芯片。

由此，敏感元件、MEMS芯片、ASIC芯片是一个传感器的核心。

对半导体企业来说，能够自己设计、生产晶圆的企业称为IDM企业，技术实力和资金实力都较为雄厚，其次有许多企业设计芯片但本身不生产芯片，称为Fabless企业。此外，大量专业代工生产晶圆的企业称为Foundry代工企业。

在传感器领域，有能力制造、设计敏感元件、MEMS芯片的传感器企业，很少，但这种传感器IDM企业，一般都是产业里的巨头。

根据Yole《2022全球MEMS产业现状》报告显示，排名靠前的MEMS企业，博世、意法半导体、TDK、霍尼韦尔都是IDM公司。

此外，瑞典Silex（我国赛微电子全资子公司）、Teledyne、TSMC为MEMS Foundry公司，即纯MEMS晶圆代工企业。

剩下的企业则基本为Fabless公司，但这些公司也或多或少保留有自家的研发线，这也是目前全球MEMS的情况：Fabless公司占多数，IDM公司占据较大市场份额，MEMS代工企业瓜分剩余市场。

我国传感器头部企业中，中国最大传感器企业韦尔股份，就是典型的Fabless公司，韦尔股份负责图像传感器芯片的设计，而流片、生产工作则由台积电等先进晶圆厂代工。

此外，我国MEMS传感器规模第一、第二大的歌尔股份和瑞声科技，主要出货量是MEMS麦克风，但两家企业MEMS出货量产品中，大量采购了来自英飞凌的MEMS Die（裸片）和ASIC芯片，再自己封装整合出货。

虽然相关报告显示，歌尔、瑞声均具备一定的MEMS芯片和ASIC芯片设计能力，但自主设计产品未能成为出货主力。

而没有用自自设计的MEMS芯片有什么影响？歌尔往年一半的利润需要用来采购英飞凌的MEMS芯片和ASIC芯片。

我国声学MEMS传感器在全球范围来说，出货量庞大，称得上大，但不强，英飞凌、楼氏电子才是又大又强。全球MEMS Die出货量上，英飞凌、楼氏电子占据大头，这才是利润最丰厚的地方。

值得一提的是敏芯股份（MEMSensing）在全球声学MEMS Die的出货量排名第三，占比6.8%。敏芯股份完成了 MEMS 传感器产品芯片设计、晶圆制造、封装和测试环节的基础研发工作，并将形成的各生产环节技术导入国内的晶圆制造和封装厂商，帮助其开发了专业的 MEMS 产品生产加工工艺，实现了本土化生产体系的搭建。

歌尔、瑞声背后，正是中国传感器产业的缩影——绝大部分中国传感器企业都是组装工厂，通过购买国际传感器巨头的MEMS芯片、敏感元件，进行封装、测试再重新出货，属于自己的技术含量较少。

据《中国传感器产业蓝皮书》数据显示，我国传感器生产类企业仅1800多家，占比7.8%，其余22000多家都是应用和商贸类企业。

而这1800多家制造类传感器企业，有多少家能掌握敏芯元件、MEMS芯片的设计技术？更遑论掌握更上游的制造工艺了。

▲数据来源《中国传感器产业蓝皮书》（制表动感传感）

因此，近几年来各地大力建设MEMS中试线，寄希望在坚实的国产MEMS晶圆产线的支撑下，众多采购封装的组装厂模式的国产传感器企业，能实现芯片设计等自主技术的提升，这才能摆脱中国传感产业被卡脖子的困境！

在绝大多数中国传感器企业都是组装厂的大环境下，少数传感器企业通过投入巨资，建设芯片产线，对企业自身资金实力、技术实力都是极大的考验，这些IDM传感器企业，无疑是中国传感器产业最尖端的力量！

部分中国传感器IDM企业和情况

（序号仅标记数量，无排序意义）

1、美新半导体

美新半导体（MEMSIC）是全球领先的惯性MEMS传感器及解决方案提供商，于1999年成立, 目前总部位于中国天津，2007年在美国纳斯达克上市，是全球MEMS第一股，中国MEMS十强企业之一。

美新半导体在无锡建有8英寸MEMS磁、惯性传感器晶圆生产、封测产线。2022年12月25日，据《绍兴日报》报道，总投资约3.5亿元，建筑面积约5.27万平方米的绍兴集成电路设计产业园（西园）项目计划2023年6月竣工。位于园区内的美新半导体项目即将投产，投产后将形成年产6亿颗MEMS磁传感器芯片和1.2亿颗加速度传感器的生产能力。

2、原位芯片

原位芯片成立于2015年，主要研究人员由来自清华大学、中科院和海外院校的微电子、生物和机电等专业技术人才组成。原位芯片拥有一条6英寸MEMS晶圆产线，掌握40多项领先MEMS技术，拥有芯片设计、工艺开发、流片生产和测试的全流程自主研发、生产能力。

原位芯片专注于MEMS液体流量传感器、贴片式胰岛素泵芯片和氮化硅薄膜窗格等产品，其自主研发的氮化硅薄膜窗口产品成功打破海外垄断，液体流量传感器、贴片式胰岛素泵芯片也是国内同类产品首创。

3、多维科技

成立于2010年，总部在江苏张家港，建设有完整的第四代磁传感技术——隧道磁电阻（TMR）的磁性感应芯片产线。

多维科技的磁传感器晶圆代工厂拥有6英寸和8英寸MEMS晶圆产线，提供完整的磁传感器（AMR / GMR / TMR）开发及晶圆制造服务（包括设计、制造和测试），年产10亿个TMR磁传感器。

2022年5月份，多维科技宣布已完成新一轮数亿元战略融资，由嘉溢创投领投，本轮融资资金将主要用于国内首条高性能磁传感器晶圆8寸线，持续强化产业链关键环节的垂直整合，进一步夯实本土唯一xMR高性能磁传感器IDM的平台化优势。

4、士兰微

杭州士兰微1997年成立，是国内规模最大的集成电路芯片设计与制造一体（IDM）的企业之一。

自2010年开始，士兰微电子投入大量资金，通过对加速度传感器、地磁传感器、压力传感器等一系列传感器产品的开发，在6吋、8吋芯片生产线上实现了批量制造能力，并建立自己的MEMS封测生产线，初步走通了系列传感器的IDM发展之路，已申请相关发明专利百余项。

目前士兰微MEMS传感器产品系列丰富，有：MEMS加速度计、三轴AMR磁传感器、六轴惯性传感器、高性能MEMS麦克风、数字三合一传感器、心率传感器、高性能气压压力传感器等。

士兰微是中国MEMS十强企业之一，据其2022上半年度报告披露，2022 年上半年，公司 MEMS 传感器产品的营业收入达到 1.5 亿元，较上年同期增加 7.8%。

5、高德红外

高德红外创立于1999年，总部位于武汉，中国红外传感器龙头企业，拥有8 英寸 0.25um 批产型 MEMS 生产线，是目前国内唯一一条自主可控且具备批产能力的非制冷红外焦平面探测器生产线，已实现从 120×90 到 1280×1024 从低到高各类面阵规格产品型号批产能力。

高德红外目前已拥有3条8英寸红外探测器产线，2021年底新产线投产，并提高3~4倍产能。

6、启泰传感

2006年成立，总部在湖南浏阳。启泰传感以王国秋教授为首的科研团队攻克了异质膜关键工艺与技术，建设国内第一条金属基薄膜力敏芯片——MEMS压敏传感芯片生产线，是世界上少数几家具有金属溅射薄膜压敏芯片规模化生产能力的公司之一。

2019年8月该生产线实现批量生产，年产压敏传感芯片50万颗，至2021年一期工程顺利完工投产，用地面积35亩，建设总用地面积2万多平米，传感器芯片年生产能力可达600万颗，传感器封装200万支，年产值可达10亿元。

二期项目正在进行，预计完工后，传感器芯片产能将达2000万颗，传感器封装1000万支，年产值可达50亿元。

7、爱司凯

爱司凯成立于2006年，致力于工业打印核心技术研发和多技术（微机电系统MEMS、大功率激光、精密制作及智能控制）融合的高新技术企业。目前已掌握三大核心技术：即激光技术、压电式喷墨打印技术和精密运动控制系统 ，爱司凯在广州中新知识城建有8英寸晶圆MEMS喷墨打印头产线。

8、罕王微电子

罕王微电子是一家以MEMS传感器设计及制造生产为核心的高科技中美合资企业，总部位于辽宁省沈抚新区，系罕王集团控股子公司。

罕王微电子2016年收购美信旗下MEMS传感器业务，2018年建成国内首条8英寸纯MEMS规模化量产线，工艺能力涵盖MEMS芯片生产全流程，设计晶圆产能36万片/年。生产传感器包括：陀螺仪、IMU惯性测量单元、射频RF-MEMS及加速度、温度、湿度、压力、应力传感器等。

9、美泰科技

中国电子科技集团第十三研究所全资子公司，2015年中电十三所的“6英寸SOI MEMS标准加工技术及在高性能MEMS 器件中的应用”通过科技部组织的专家验收。

6英寸SOI MEMS标准工艺和封装技术用于MEMS陀螺仪、加速度计、振动传感器、碰撞传感器、MEMS光开关、VOA及压力传感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸产线月产能达到1万片。

10、西人马

西人马（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人马联合测控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立于2017年，是西人马MEMS高端传感器和芯片制造基地，占地70亩，建筑面积20000㎡，具有6000㎡的超净车间和先进微纳米研究实验室，配备8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能传感器芯片产线和中国先进的MEMS器件加工平台。

西人马19年11月获得朗润基金数千万A轮融资，20年一季度获得A+轮的1亿元人民币融资，2021年3月获B轮融资，发展迅速，西人马已经成为国内MEMS领域IDM芯片公司的鳌头，红外和压力传感器每日产量可以达到几十万颗。西人马是中国MEMS十强企业之一。

11、奥松电子

奥松电子成立于2003年，专注于MEMS半导体工艺技术，是国内率先应用MEMS半导体工艺技术生产传感器芯片的高新技术企业，也是广东省MEMS领域集研发、设计、制造、封装测试、终端应用为一体的MEMS智能传感器全产业链（简称IDM）企业。

2020年9月，广州奥松电子有限公司6英寸MEMS半导体传感器芯片生产线正式投入运营，成功量产出温湿度、流量、气体、差压、风速等传感器芯片。

奥松电子MEMS半导体生产线一期工程为500纳米MEMS半导体工艺制程，生产设备约占整个投资规模的70%。根据规划，2021年二期工程建成350纳米制程工艺MEMS半导体生产线；2022年三期工程将建成180纳米制程工艺MEMS半导体生产线；总项目全部建成投产后，每月流片规模将达到4万片，

2021年8月，奥松电子官网宣布对外开放MEMS芯片代工业务，包括设备共享、技术支持、企业孵化等服务。

2021年4月奥松电子控股的全资子公司——奥松半导体（珠海）有限公司，将在珠海高新技术产业开发区建设8英寸先进MEMS特色半导体IDM产业基地项目。该项目建成后，将成为国内先进的MEMS芯片及智能传感器产业集群，提高MEMS芯片的代工和量产能力。

12、海康微影

海康微影是国内红外热成像巨头海康威视旗下企业，主要从事MEMS传感器、红外探测器芯片研发、生产。

2021年11月9日在投资平台上，海康威视透露海康微影已经自建一条8寸MEMS生产线及封装线，具备年产晶圆一万片，探测器百万颗的生产能力。

探测器产线洁净面积达到800平方米、净化级别高达10级的8英寸，拥有业界—流的集成电路设计、MEMS设计、MEMS/封装制程开发、应用成品开发及销售服务团队。

13、昊润科技

山东昊润自动化技术有限公司从事硅压阻、硅电容OEM传感器，通用型、智能型及行业专用型自动化测控仪表的设计研发和规模化制造。

2011年欧洲经济危机期间，昊润科技收购芬兰VTI公司3D-MEMS 硅电容传感器全套生产线，并引进其核心技术。因此，昊润科技拥有自己的3D-MEMS技术和硅电容传感器生产线，年生产规模1500万只。

14、东方微磁

湖北宜昌东方微磁有限公司是中国船舶重工集团公司第七一〇研究所全资子公司，是一家致力于磁学计量和中国磁电产业发展的高新技术企业，建有国防科技工业弱磁一级计量站、磁电子技术国家地方联合工程实验室、湖北省磁电子工业技术研究院，拥有国内第一条MEMS磁传感器芯片生产线。

东方微磁的MEMS生产线2015年底全部调通，是国内首条可满足工业化生产的磁芯片生产线，保守产能为1000片/月，每年至少可生产月2亿颗芯片，共有溅射镀膜、光刻、真空、测试等设备进60台。

15、华润微电子

华润微电子是2002年华润集团收购华晶集团改组而成，总部位于无锡，拥有3条6英寸线，其中MEMS产线是国内规模最大的与CMOS生产线兼容的MEMS传感器量产生产线，具有国内领先水平的 MEMS 表面和体硅加工技术，用于制造压力、硅麦克风、光电、温湿度等MEMS传感器。华润微是中国MEMS十强企业之一。

华润微电子8吋MEMS的3000片/月产能扩充已经完成，并投入使用。光电及MEMS麦克风工艺平台从6英寸升级到8英寸，实现批量生产，产品性能及良率水平优秀；整体提升了其MEMS工艺技术水平和竞争能力。

16、德尔森

德尔森集团是一家中德合作的高新技术企业，集团总部与产品设计中心位于德国法兰克福和中国南京。

德尔森与南京市共同建立江苏MEMS智能传感器研究院，投资1.04亿元建有基于德国CIS研究院技术的MEMS压力传感器芯片产线。

17、力盛芯

力盛芯（洛阳）电子科技公司是由台湾LED产业之父石修投资建立的企业，主要生产微机电工艺传感器、硅基微型聚光斗芯片和微机电工艺集成电路代工制造三大类产品。2017年总投资9亿元，约5万平方米的8英寸MEMS芯片厂正式投产。

18、睿创微纳

睿创微纳总部位于山东烟台，是从事专用集成电路、红外热像芯片及MEMS传感器设计与制造的企业。

睿创微纳的8英寸MEMS晶圆生产线由公司与代工厂共建，已量产，月产能1500片晶圆。

2020年7月，与烟台开发区签署协议，建设一条8英寸MEMS工艺线和一条化合物半导体工艺线。其中，化合物半导体芯片工艺线面向半导体激光器、光电探测器、微波器件以及功率器件；MEMS工艺线面向高端光学MEMS器件、RF MEMS器件和惯性MEMS传感器等。

19、诺思微系统

诺思微系统位于天津，是一家无线设备射频前端MEMS滤波芯片服务商，其产品主要采用薄膜体声波谐振器(FBAR)技术以及硅衬底的微机电系统(MEMS)制造技术，同时为无线射频滤波器、双工器、和多工器等提供解决方案。

诺思微已投产一条6英寸MEMS晶圆生产线和一条4英寸工艺研发线。厂房和研发中心总占地面积2.7万平方米。

2021年3月，国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项项目“硅基MEMS压电薄膜及器件关键技术与平台”的项目在诺思微系统启动，针对5G/6G无线通讯、物联网等对射频滤波器、智能传感器提出新的技术要求，对实现晶圆级硅基MEMS压电器件的大规模生产、摆脱我国目前关键MEMS压电器件受制于人的局面，有重要意义。

2021年8月完成4亿元融资，预计在一年内全面加速产能释放，达年产20亿颗滤波器芯片的产能规模。

20、武汉衍熙微器件

武汉衍熙微器件拥有全国第一条8寸体声波（BAW）量产线，具有先进的光刻、薄膜、蚀刻以及封装设备，并建立创新自主开发的产品生产流程。该产线主要产品有MEMS滤波器、双工器等。

2018年，武汉衍熙微器件进行项目扩建，一期为租赁现有厂房5600平方米，建设3600平方米的无尘室车间；二期计划建设约10000平方米的无尘室车间，用于扩大生产。

21、苏州固锝

苏州固锝成立于1990年，是国内二极管龙头企业，旗下子公司明锐光电、明皜传感、艾特曼电子等涉足MEMS传感器IDM业务。

2010年固锝收购明锐光电，明锐光电主要从事MEMS-CMOS三维集成制造平台技术及八英寸晶圆级封装技术及产线和产品研发。

2011年成立明皜传感，从事微机电传感器芯片和器件的工艺开发、设计。2021年8月，明皜传感获小米投资，注册资本由 6443.64 万元人民币增加至 7085.19 万元人民币，增幅为 9.96%。

2021年6月，苏州固锝与华景传感合资成立华锝半导体，愿景是将华景传感的MEMS麦克风芯片设计技术与苏州固锝的封测技术及生产经验相结合，逐步实现MEMS麦克风在高端领域的进口替代。

同月，华锝MEMS声学传感器及射频滤波器封测项目落户苏州。项目一期产线将建立符合华为体系标准的MEMS声学传感器的封测基地，主要客户有小米、科大讯飞等；二期将引入国内首创MEMS麦克风及射频滤波器的WLP晶圆级封装产线，该晶圆级封装为芯片流片工艺最后一道关键工艺，华锝将拥有自主晶圆级封装相关自主技术知识产权。

22、锐石创芯（设备搬入阶段）

锐石创芯是一家专注于高性能的4G/5G射频前端产品的研发及销售的公司，主要应用于智能手机、物联网终端、平板电脑。

锐石创芯EMS器件生产基地新建项目位于重庆，总占地面积120亩，总投资22亿。其中一期投资约8亿元，项目核心厂房由晶圆厂和动力站组成，建筑面积共2.65万平方米，主要生产射频前端MEMS芯片。

2022年10月最新消息，锐石创芯MEMS器件生产基地新建项目已经接近尾声。生产芯片的洁净室基础设施已搭建完毕，将用来放置光刻机等设备。

结语

以上这些走IDM路线的传感器企业，无疑是中国最“硬核”的一批传感器企业，无论资金还是技术能力，IDM路线对传感器企业都是巨大的考验。

随着政策引导，以及中国传感器产业升级的客观规律，许多购买MEMS芯片、敏感元件封装、测试后再出售的OEM传感器企业，虽然不能建立自己的IDM产线，但借助未来大量建设的MEMS中试线，将逐步往Fabless模式发展，这才能逐步摆脱中国传感器被卡脖子的局面！

还有哪些中国传感器IDM企业？欢迎在传感器专家网公众号本内容底下留言讨论，或在中国最大的传感社区：传感交流圈中进行交流。

传感器是高科技产业，但并非所有传感器公司都是高科技企业，尤其是在中国。

国际上，对传感器等半导体企业的划分，一般有IDM、Fabless、Foundry几种，主要根据有无晶圆产线来区分。而中国传感器企业，则存在大量的“第四种”模式，也即组装厂模式，不涉及任何对传感器敏感元件、MEMS芯片的研发。

这其中，IDM模式显然对传感器企业的技术实力和资金实力，考验最大。在中国，有能力做IDM的传感器企业屈指可数，那么，中国有哪些传感器企业是真正的IDM公司？拥有自己的传感器芯片产线？本文资料来自各权威机构和资料，如有纰漏和其他观点，请在传感器专家网公众号本内容底下留言讨论，或在中国最大的传感社区：传感交流圈中进行交流。

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传感器“中国模式”：90%都是组装厂！

一般来说，传统传感器由由敏感元件+转换元件+转换电路构成，最核心的部件是敏感元件。对应MEMS传感器，则是MEMS芯片与信号调理ASIC芯片。

由此，敏感元件、MEMS芯片、ASIC芯片是一个传感器的核心。

对半导体企业来说，能够自己设计、生产晶圆的企业称为IDM企业，技术实力和资金实力都较为雄厚，其次有许多企业设计芯片但本身不生产芯片，称为Fabless企业。此外，大量专业代工生产晶圆的企业称为Foundry代工企业。

在传感器领域，有能力制造、设计敏感元件、MEMS芯片的传感器企业，很少，但这种传感器IDM企业，一般都是产业里的巨头。

根据Yole《2022全球MEMS产业现状》报告显示，排名靠前的MEMS企业，博世、意法半导体、TDK、霍尼韦尔都是IDM公司。

此外，瑞典Silex（我国赛微电子全资子公司）、Teledyne、TSMC为MEMS Foundry公司，即纯MEMS晶圆代工企业。

剩下的企业则基本为Fabless公司，但这些公司也或多或少保留有自家的研发线，这也是目前全球MEMS的情况：Fabless公司占多数，IDM公司占据较大市场份额，MEMS代工企业瓜分剩余市场。

我国传感器头部企业中，中国最大传感器企业韦尔股份，就是典型的Fabless公司，韦尔股份负责图像传感器芯片的设计，而流片、生产工作则由台积电等先进晶圆厂代工。

此外，我国MEMS传感器规模第一、第二大的歌尔股份和瑞声科技，主要出货量是MEMS麦克风，但两家企业MEMS出货量产品中，大量采购了来自英飞凌的MEMS Die（裸片）和ASIC芯片，再自己封装整合出货。

虽然相关报告显示，歌尔、瑞声均具备一定的MEMS芯片和ASIC芯片设计能力，但自主设计产品未能成为出货主力。

而没有用自自设计的MEMS芯片有什么影响？歌尔往年一半的利润需要用来采购英飞凌的MEMS芯片和ASIC芯片。

我国声学MEMS传感器在全球范围来说，出货量庞大，称得上大，但不强，英飞凌、楼氏电子才是又大又强。全球MEMS Die出货量上，英飞凌、楼氏电子占据大头，这才是利润最丰厚的地方。

值得一提的是敏芯股份（MEMSensing）在全球声学MEMS Die的出货量排名第三，占比6.8%。敏芯股份完成了 MEMS 传感器产品芯片设计、晶圆制造、封装和测试环节的基础研发工作，并将形成的各生产环节技术导入国内的晶圆制造和封装厂商，帮助其开发了专业的 MEMS 产品生产加工工艺，实现了本土化生产体系的搭建。

歌尔、瑞声背后，正是中国传感器产业的缩影——绝大部分中国传感器企业都是组装工厂，通过购买国际传感器巨头的MEMS芯片、敏感元件，进行封装、测试再重新出货，属于自己的技术含量较少。

据《中国传感器产业蓝皮书》数据显示，我国传感器生产类企业仅1800多家，占比7.8%，其余22000多家都是应用和商贸类企业。

而这1800多家制造类传感器企业，有多少家能掌握敏芯元件、MEMS芯片的设计技术？更遑论掌握更上游的制造工艺了。

▲数据来源《中国传感器产业蓝皮书》（制表动感传感）

因此，近几年来各地大力建设MEMS中试线，寄希望在坚实的国产MEMS晶圆产线的支撑下，众多采购封装的组装厂模式的国产传感器企业，能实现芯片设计等自主技术的提升，这才能摆脱中国传感产业被卡脖子的困境！

在绝大多数中国传感器企业都是组装厂的大环境下，少数传感器企业通过投入巨资，建设芯片产线，对企业自身资金实力、技术实力都是极大的考验，这些IDM传感器企业，无疑是中国传感器产业最尖端的力量！

部分中国传感器IDM企业和情况

（序号仅标记数量，无排序意义）

1、美新半导体

美新半导体（MEMSIC）是全球领先的惯性MEMS传感器及解决方案提供商，于1999年成立, 目前总部位于中国天津，2007年在美国纳斯达克上市，是全球MEMS第一股，中国MEMS十强企业之一。

美新半导体在无锡建有8英寸MEMS磁、惯性传感器晶圆生产、封测产线。2022年12月25日，据《绍兴日报》报道，总投资约3.5亿元，建筑面积约5.27万平方米的绍兴集成电路设计产业园（西园）项目计划2023年6月竣工。位于园区内的美新半导体项目即将投产，投产后将形成年产6亿颗MEMS磁传感器芯片和1.2亿颗加速度传感器的生产能力。

2、原位芯片

原位芯片成立于2015年，主要研究人员由来自清华大学、中科院和海外院校的微电子、生物和机电等专业技术人才组成。原位芯片拥有一条6英寸MEMS晶圆产线，掌握40多项领先MEMS技术，拥有芯片设计、工艺开发、流片生产和测试的全流程自主研发、生产能力。

原位芯片专注于MEMS液体流量传感器、贴片式胰岛素泵芯片和氮化硅薄膜窗格等产品，其自主研发的氮化硅薄膜窗口产品成功打破海外垄断，液体流量传感器、贴片式胰岛素泵芯片也是国内同类产品首创。

3、多维科技

成立于2010年，总部在江苏张家港，建设有完整的第四代磁传感技术——隧道磁电阻（TMR）的磁性感应芯片产线。

多维科技的磁传感器晶圆代工厂拥有6英寸和8英寸MEMS晶圆产线，提供完整的磁传感器（AMR / GMR / TMR）开发及晶圆制造服务（包括设计、制造和测试），年产10亿个TMR磁传感器。

2022年5月份，多维科技宣布已完成新一轮数亿元战略融资，由嘉溢创投领投，本轮融资资金将主要用于国内首条高性能磁传感器晶圆8寸线，持续强化产业链关键环节的垂直整合，进一步夯实本土唯一xMR高性能磁传感器IDM的平台化优势。

4、士兰微

杭州士兰微1997年成立，是国内规模最大的集成电路芯片设计与制造一体（IDM）的企业之一。

自2010年开始，士兰微电子投入大量资金，通过对加速度传感器、地磁传感器、压力传感器等一系列传感器产品的开发，在6吋、8吋芯片生产线上实现了批量制造能力，并建立自己的MEMS封测生产线，初步走通了系列传感器的IDM发展之路，已申请相关发明专利百余项。

目前士兰微MEMS传感器产品系列丰富，有：MEMS加速度计、三轴AMR磁传感器、六轴惯性传感器、高性能MEMS麦克风、数字三合一传感器、心率传感器、高性能气压压力传感器等。

士兰微是中国MEMS十强企业之一，据其2022上半年度报告披露，2022 年上半年，公司 MEMS 传感器产品的营业收入达到 1.5 亿元，较上年同期增加 7.8%。

5、高德红外

高德红外创立于1999年，总部位于武汉，中国红外传感器龙头企业，拥有8 英寸 0.25um 批产型 MEMS 生产线，是目前国内唯一一条自主可控且具备批产能力的非制冷红外焦平面探测器生产线，已实现从 120×90 到 1280×1024 从低到高各类面阵规格产品型号批产能力。

高德红外目前已拥有3条8英寸红外探测器产线，2021年底新产线投产，并提高3~4倍产能。

6、启泰传感

2006年成立，总部在湖南浏阳。启泰传感以王国秋教授为首的科研团队攻克了异质膜关键工艺与技术，建设国内第一条金属基薄膜力敏芯片——MEMS压敏传感芯片生产线，是世界上少数几家具有金属溅射薄膜压敏芯片规模化生产能力的公司之一。

2019年8月该生产线实现批量生产，年产压敏传感芯片50万颗，至2021年一期工程顺利完工投产，用地面积35亩，建设总用地面积2万多平米，传感器芯片年生产能力可达600万颗，传感器封装200万支，年产值可达10亿元。

二期项目正在进行，预计完工后，传感器芯片产能将达2000万颗，传感器封装1000万支，年产值可达50亿元。

7、爱司凯

爱司凯成立于2006年，致力于工业打印核心技术研发和多技术（微机电系统MEMS、大功率激光、精密制作及智能控制）融合的高新技术企业。目前已掌握三大核心技术：即激光技术、压电式喷墨打印技术和精密运动控制系统 ，爱司凯在广州中新知识城建有8英寸晶圆MEMS喷墨打印头产线。

8、罕王微电子

罕王微电子是一家以MEMS传感器设计及制造生产为核心的高科技中美合资企业，总部位于辽宁省沈抚新区，系罕王集团控股子公司。

罕王微电子2016年收购美信旗下MEMS传感器业务，2018年建成国内首条8英寸纯MEMS规模化量产线，工艺能力涵盖MEMS芯片生产全流程，设计晶圆产能36万片/年。生产传感器包括：陀螺仪、IMU惯性测量单元、射频RF-MEMS及加速度、温度、湿度、压力、应力传感器等。

9、美泰科技

中国电子科技集团第十三研究所全资子公司，2015年中电十三所的“6英寸SOI MEMS标准加工技术及在高性能MEMS 器件中的应用”通过科技部组织的专家验收。

6英寸SOI MEMS标准工艺和封装技术用于MEMS陀螺仪、加速度计、振动传感器、碰撞传感器、MEMS光开关、VOA及压力传感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸产线月产能达到1万片。

10、西人马

西人马（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人马联合测控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立于2017年，是西人马MEMS高端传感器和芯片制造基地，占地70亩，建筑面积20000㎡，具有6000㎡的超净车间和先进微纳米研究实验室，配备8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能传感器芯片产线和中国先进的MEMS器件加工平台。

西人马19年11月获得朗润基金数千万A轮融资，20年一季度获得A+轮的1亿元人民币融资，2021年3月获B轮融资，发展迅速，西人马已经成为国内MEMS领域IDM芯片公司的鳌头，红外和压力传感器每日产量可以达到几十万颗。西人马是中国MEMS十强企业之一。

11、奥松电子

奥松电子成立于2003年，专注于MEMS半导体工艺技术，是国内率先应用MEMS半导体工艺技术生产传感器芯片的高新技术企业，也是广东省MEMS领域集研发、设计、制造、封装测试、终端应用为一体的MEMS智能传感器全产业链（简称IDM）企业。

2020年9月，广州奥松电子有限公司6英寸MEMS半导体传感器芯片生产线正式投入运营，成功量产出温湿度、流量、气体、差压、风速等传感器芯片。

奥松电子MEMS半导体生产线一期工程为500纳米MEMS半导体工艺制程，生产设备约占整个投资规模的70%。根据规划，2021年二期工程建成350纳米制程工艺MEMS半导体生产线；2022年三期工程将建成180纳米制程工艺MEMS半导体生产线；总项目全部建成投产后，每月流片规模将达到4万片，

2021年8月，奥松电子官网宣布对外开放MEMS芯片代工业务，包括设备共享、技术支持、企业孵化等服务。

2021年4月奥松电子控股的全资子公司——奥松半导体（珠海）有限公司，将在珠海高新技术产业开发区建设8英寸先进MEMS特色半导体IDM产业基地项目。该项目建成后，将成为国内先进的MEMS芯片及智能传感器产业集群，提高MEMS芯片的代工和量产能力。

12、海康微影

海康微影是国内红外热成像巨头海康威视旗下企业，主要从事MEMS传感器、红外探测器芯片研发、生产。

2021年11月9日在投资平台上，海康威视透露海康微影已经自建一条8寸MEMS生产线及封装线，具备年产晶圆一万片，探测器百万颗的生产能力。

探测器产线洁净面积达到800平方米、净化级别高达10级的8英寸，拥有业界—流的集成电路设计、MEMS设计、MEMS/封装制程开发、应用成品开发及销售服务团队。

13、昊润科技

山东昊润自动化技术有限公司从事硅压阻、硅电容OEM传感器，通用型、智能型及行业专用型自动化测控仪表的设计研发和规模化制造。

2011年欧洲经济危机期间，昊润科技收购芬兰VTI公司3D-MEMS 硅电容传感器全套生产线，并引进其核心技术。因此，昊润科技拥有自己的3D-MEMS技术和硅电容传感器生产线，年生产规模1500万只。

14、东方微磁

湖北宜昌东方微磁有限公司是中国船舶重工集团公司第七一〇研究所全资子公司，是一家致力于磁学计量和中国磁电产业发展的高新技术企业，建有国防科技工业弱磁一级计量站、磁电子技术国家地方联合工程实验室、湖北省磁电子工业技术研究院，拥有国内第一条MEMS磁传感器芯片生产线。

东方微磁的MEMS生产线2015年底全部调通，是国内首条可满足工业化生产的磁芯片生产线，保守产能为1000片/月，每年至少可生产月2亿颗芯片，共有溅射镀膜、光刻、真空、测试等设备进60台。

15、华润微电子

华润微电子是2002年华润集团收购华晶集团改组而成，总部位于无锡，拥有3条6英寸线，其中MEMS产线是国内规模最大的与CMOS生产线兼容的MEMS传感器量产生产线，具有国内领先水平的 MEMS 表面和体硅加工技术，用于制造压力、硅麦克风、光电、温湿度等MEMS传感器。华润微是中国MEMS十强企业之一。

华润微电子8吋MEMS的3000片/月产能扩充已经完成，并投入使用。光电及MEMS麦克风工艺平台从6英寸升级到8英寸，实现批量生产，产品性能及良率水平优秀；整体提升了其MEMS工艺技术水平和竞争能力。

16、德尔森

德尔森集团是一家中德合作的高新技术企业，集团总部与产品设计中心位于德国法兰克福和中国南京。

德尔森与南京市共同建立江苏MEMS智能传感器研究院，投资1.04亿元建有基于德国CIS研究院技术的MEMS压力传感器芯片产线。

17、力盛芯

力盛芯（洛阳）电子科技公司是由台湾LED产业之父石修投资建立的企业，主要生产微机电工艺传感器、硅基微型聚光斗芯片和微机电工艺集成电路代工制造三大类产品。2017年总投资9亿元，约5万平方米的8英寸MEMS芯片厂正式投产。

18、睿创微纳

睿创微纳总部位于山东烟台，是从事专用集成电路、红外热像芯片及MEMS传感器设计与制造的企业。

睿创微纳的8英寸MEMS晶圆生产线由公司与代工厂共建，已量产，月产能1500片晶圆。

2020年7月，与烟台开发区签署协议，建设一条8英寸MEMS工艺线和一条化合物半导体工艺线。其中，化合物半导体芯片工艺线面向半导体激光器、光电探测器、微波器件以及功率器件；MEMS工艺线面向高端光学MEMS器件、RF MEMS器件和惯性MEMS传感器等。

19、诺思微系统

诺思微系统位于天津，是一家无线设备射频前端MEMS滤波芯片服务商，其产品主要采用薄膜体声波谐振器(FBAR)技术以及硅衬底的微机电系统(MEMS)制造技术，同时为无线射频滤波器、双工器、和多工器等提供解决方案。

诺思微已投产一条6英寸MEMS晶圆生产线和一条4英寸工艺研发线。厂房和研发中心总占地面积2.7万平方米。

2021年3月，国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项项目“硅基MEMS压电薄膜及器件关键技术与平台”的项目在诺思微系统启动，针对5G/6G无线通讯、物联网等对射频滤波器、智能传感器提出新的技术要求，对实现晶圆级硅基MEMS压电器件的大规模生产、摆脱我国目前关键MEMS压电器件受制于人的局面，有重要意义。

2021年8月完成4亿元融资，预计在一年内全面加速产能释放，达年产20亿颗滤波器芯片的产能规模。

20、武汉衍熙微器件

武汉衍熙微器件拥有全国第一条8寸体声波（BAW）量产线，具有先进的光刻、薄膜、蚀刻以及封装设备，并建立创新自主开发的产品生产流程。该产线主要产品有MEMS滤波器、双工器等。

2018年，武汉衍熙微器件进行项目扩建，一期为租赁现有厂房5600平方米，建设3600平方米的无尘室车间；二期计划建设约10000平方米的无尘室车间，用于扩大生产。

21、苏州固锝

苏州固锝成立于1990年，是国内二极管龙头企业，旗下子公司明锐光电、明皜传感、艾特曼电子等涉足MEMS传感器IDM业务。

2010年固锝收购明锐光电，明锐光电主要从事MEMS-CMOS三维集成制造平台技术及八英寸晶圆级封装技术及产线和产品研发。

2011年成立明皜传感，从事微机电传感器芯片和器件的工艺开发、设计。2021年8月，明皜传感获小米投资，注册资本由 6443.64 万元人民币增加至 7085.19 万元人民币，增幅为 9.96%。

2021年6月，苏州固锝与华景传感合资成立华锝半导体，愿景是将华景传感的MEMS麦克风芯片设计技术与苏州固锝的封测技术及生产经验相结合，逐步实现MEMS麦克风在高端领域的进口替代。

同月，华锝MEMS声学传感器及射频滤波器封测项目落户苏州。项目一期产线将建立符合华为体系标准的MEMS声学传感器的封测基地，主要客户有小米、科大讯飞等；二期将引入国内首创MEMS麦克风及射频滤波器的WLP晶圆级封装产线，该晶圆级封装为芯片流片工艺最后一道关键工艺，华锝将拥有自主晶圆级封装相关自主技术知识产权。

22、锐石创芯（设备搬入阶段）

锐石创芯是一家专注于高性能的4G/5G射频前端产品的研发及销售的公司，主要应用于智能手机、物联网终端、平板电脑。

锐石创芯EMS器件生产基地新建项目位于重庆，总占地面积120亩，总投资22亿。其中一期投资约8亿元，项目核心厂房由晶圆厂和动力站组成，建筑面积共2.65万平方米，主要生产射频前端MEMS芯片。

2022年10月最新消息，锐石创芯MEMS器件生产基地新建项目已经接近尾声。生产芯片的洁净室基础设施已搭建完毕，将用来放置光刻机等设备。

结语

以上这些走IDM路线的传感器企业，无疑是中国最“硬核”的一批传感器企业，无论资金还是技术能力，IDM路线对传感器企业都是巨大的考验。

随着政策引导，以及中国传感器产业升级的客观规律，许多购买MEMS芯片、敏感元件封装、测试后再出售的OEM传感器企业，虽然不能建立自己的IDM产线，但借助未来大量建设的MEMS中试线，将逐步往Fabless模式发展，这才能逐步摆脱中国传感器被卡脖子的局面！

还有哪些中国传感器IDM企业？欢迎在传感器专家网公众号本内容底下留言讨论，或在中国最大的传感社区：传感交流圈中进行交流。