原创 TriQuint采用新的工艺制造毫米波器件

TriQuint Semiconductor Inc.公司推出了最新的工艺技术，制造新的毫米波级别的产品。该工艺使用了TriQuint晶体管技术，用光栅光刻取代了传统的传统的电子束技术。TriQuint的TQP13-N技术使得低成本，150-mm的砷化镓晶圆制造工艺成为可能。

该技术融合了光学定义，0.13-微米，自对准栅 pHEMT FET。它同时利用了耐火栅门金属系统，还有高密度的电容，外延增生和镍铬合金电阻，还有两层的金连接。

使用光确定的栅降低了和基于电子束栅光刻相似的制程的成本，这也为整个现有的毫米波技术节省了成本。

移动卫星电视，无线头端和自应巡行控制器 都是毫米波技术应用的例子，这些都可以使用TQP13-N制程。

“高频率的应用在商用领域太为昂贵。”TriQuint Commercial Foundry部门的市场主管Mike Peters指出。