双工件台光刻机的控制系统采用上下位机模式。上位机采用C++Builder 编写的人机控制界面, 下位机采用基于VME总线的工控机,采用V xWo r k s 嵌入式操作系统。上位机通过人机界面发送控制指令和参数; 下位机则通过V M E 总线在不同时刻采集各个板卡的数据, 分析系统当前的状态, 并将不同指令在不同时刻通过V M E 总线传给各个控制板卡。VxWorks 操作系统是整个下位机的核心, 本设计采用Workbench 集成开发环境, 利用MC7448A 的IC-e6-VMEa 为主板卡, 移植VxWorks 操作系统
