传统上,陀螺仪是用于测量旋转角速率的机械器件,其常见用途之一就是在导航系统中估算方位角。在系统中安装此类陀螺仪时,通常会涉及到舱壁安装的机械设计,即机械定位螺丝系统,以实现框架结构对齐校准。MEMS(微机电系统)陀螺仪技术现在可以通过多种封装提供此项功能,并能够集成到PCB(印刷电路板)系统中。MEMS 陀螺仪采用硅结构微机械系统,支持将运动转换为电信号的传感器功能。 MEMS 陀螺仪特性特性 MEMS 陀螺仪的 理想情况下,测量已知旋转速率时,MEM 陀螺仪会产生可预 测输出。输出具有完美的线性度,并且不存在噪声和偏移。然 简单校准 而,在控制经济成本的制造过程中通常无法做到尽善尽美,因 此就需要更进一步了解 MEMS 陀螺仪误差。偏航角速度 硅陀螺仪及其同类加速度计产品在消费电子设备中应用日益广泛。然 MEMS 陀螺仪响应围绕其预定的旋转轴运动(如图 1 所示)。 而,由于数据准确性欠佳,MEMS 系统却反而使得最终用户体验变得 对于 MEMS 陀螺仪,旋转角速率的测量单位通常采用度/秒。 更糟。 对于模拟输出产品,比例因子一般为度/秒每伏或毫伏。对于 作者:MARK LOONEY 数字产品,比例因子一般为度/秒每最低有效位。 传统上,陀螺仪是用于测量旋转角速率的机械器件,其常见用途 下式提供 MEMS 陀螺仪的一种简单特性模型: 之一就……