本书分为6个文档。 电子光学仪器原理 木崇俊, 陈尔纲, 潘尔达 云南大学出版社 出版地 昆明 目录： 第一章 绪论 ----------------13 1.1 电子光学仪器是认识微观世界的工具 ----------------13 1.2 光学显微镜的限制 ----------------13 1.3 电子光学仪器发展简史 ----------------15 1.4 电子光学仪器的分类 ----------------17 参考文献 ----------------19 第二章 电子光学概要 ----------------20 2.1 电子光学的基本方程 ----------------20 2.2 旋转对称电磁场 ----------------22 2.3 电子在轴对称场中的轨迹方程 ----------------26 2.4 高斯光学性质 ----------------28 2.5 电子透镜光学参量和成像公式 ----------------30 2.5-1 电子透镜的焦点、焦距 ----------------30 2.5-2 透镜成像公式 ----------------32 2.5-3 作图成像法 ----------------33 2.5-4 电镜的典型电子光学光路 ----------------34 2.6 静电透镜 ----------------35 2.6-1 静电透镜焦距公式 ----------------35 2.6-2 浸没透镜 ----------------36 2.6-3 单电位透镜 ----------------37 2.6-4 单光闸 ----------------37 2.6-5 阴极透镜 ----------------39 2.7 磁透镜 ----------------40 2.7-1 磁透镜的分类 ----------------40 2.7-2 磁透镜的电子光学参量 ----------------43 2.8 电子光学系统的像差 ----------------48 2.8-1 球差 ----------------49 2.8-2 慧差 ----------------50 2.8-3 像散和场曲 ----------------51 2.8-4 畸变 ----------------52 2.8-5 轴上像散 ----------------53 2.8-6 色差 ----------------54 2.9 磁透镜的发展 ----------------55 2.9-1 不对称磁透镜 ----------------56 2.9-2 单场透镜 ----------------57 2.9-3 单极靴磁透镜 ----------------58 2.9-4 超导磁透镜 ----------------58 参考文献 ----------------60 第三章 波动电子光学 ----------------61 3.1 电子波 ----------------61 3.2 电子波的相干性 ----------------64 3.3 费涅尔衍射和夫琅和费衍射 ----------------66 3.3-1 惠更斯原理和费涅耳衍射 ----------------66 3.3-2 费涅耳条纹 ----------------68 3.3-3 夫琅和费衍射 ----------------69 3.4 波动电子光学成像公式 ----------------71 3.4-1 电子透镜的波偏差 ----------------71 3.4-2 波动电子光学成像理论 ----------------73 3.5 传递函数 ----------------75 3.5-1 电子光学传递函数的基本概念 ----------------75 3.5-2 部分相干照明对传递函数的影响 ----------------78 3.5-3 色差对传递函数的影响 ----------------79 参考文献 ----------------81 第四章 照明系统 ----------------82 4.1 电子枪的亮度 ----------------82 4.2 三电极电子枪 ----------------84 4.3 电子的热发射、场发射和热场发射 ----------------88 4.4 场发射电子枪 ----------------91 4.5 聚光镜 ----------------94 4.5-1 单聚光镜 ----------------94 4.5-2 双聚光镜 ----------------97 4.5-3 聚光镜设计举例 ----------------98 4.6 照明系统的合轴 ----------------100 4.6-1 合轴要求 ----------------100 4.6-2 合轴调整原理 ----------------100 4.6-3 电磁偏转器 ----------------102 参考文献 ----------------104 第五章 透射式电子显微镜 ----------------105 5.1 一般结构 ----------------105 5.2 透射电镜中像的形成及反差 ----------------107 5.2-1 反差 ----------------107 5.2-2 单原子对电子的散射 ----------------108 5.2-3 多原子样品的散射 ----------------111 5.2-4 透射电镜中的振幅反差 ----------------112 5.2-5 振幅反差的改善——暗场成像法 ----------------113 5.3 透射电镜的分辨率 ----------------113 5.4 透射电镜的成像系统 ----------------116 5.5 透射电镜的像深和焦深 ----------------120 5.6 透射电镜中的电子衍射方法 ----------------122 5.6-1 布喇格公式 ----------------122 5.6-2 电子衍射仪 ----------------123 5.6-3 选区衍射 ----------------124 5.6-4 高分辨率衍射 ----------------126 5.7 相位反差和晶格成像分辨率 ----------------126 5.7-1 干涉与相位反差的初步概念 ----------------127 5.7-2 高分辨晶格像 ----------------129 5.7-3 最佳离焦条件和无像差条件 ----------------131 5.8 透射电镜的调整与操作 ----------------134 5.8-1 费涅耳衍射条纹 ----------------134 5.8-2 成像系统的合轴调整 ----------------135 5.8-3 成像系统的聚焦方法 ----------------136 5.8-4 轴上像散的测量 ----------------138 5.8-5 消像散器 ----------------138 5.8-6 拍摄高分辨本领照片的操作技术 ----------------140 参考文献 ----------------144 第六章 扫描电子显微镜 ----------------145 6.1 工作原理及结构简述 ----------------145 6.2 扫描电镜中各种信息的产生——电子束与样品的相互作用 ----------------149 6.2-1 相互作用区 ----------------149 6.2-2 二次电子发射 ----------------151 6.2-3 背散射电子发射 ----------------156 6.2-4 吸收电子 ----------------158 6.2-5 X射线的产生 ----------------159 6.3 最小有用电子探针直径 ----------------159 6.3-1 最小有用电子探针直径的计算 ----------------159 6.3-2 探针尺寸的波动电子光学计算 ----------------163 6.4 扫描电镜的电子探测器和信噪比 ----------------164 6.4-1 二次电子探测器的基本结构 ----------------164 6.4-2 信噪比 ----------------165 6.4-3 背散射电子探测 ----------------167 6.4-4 闪烁体背散射电子探测器 ----------------169 6.4-5 固体探测器 ----------------170 6.5 扫描电镜的电子光学系统 ----------------171 6.5-1 电子光学光路 ----------------171 6.5-2 电子枪和聚光镜 ----------------172 6.5-3 物镜 ----------------172 6.6 扫描系统及放大倍数控制 ----------------174 6.7 扫描电子显微镜设计举例 ----------------176 6.8 扫描电镜的成像 ----------------181 6.8-1 图像的构成 ----------------181 6.8-2 像素 ----------------182 6.8-3 景深 ----------------182 6.8-4 反差 ----------------183 6.8-5 图像特殊显示 ----------------184 6.9 电子通道图像 ----------------185 6.10 仪器调整及高分辨本领照片的拍摄 ----------------188 6.10-1 安装 ----------------188 6.10-2 电源的稳定性 ----------------188 6.10-3 保证系统的清洁度和真空度 ----------------188 6.10-4 电子光学系统的合轴 ----------------188 6.10-5 电子束斑的调整 ----------------189 6.10-6 光阑的选择 ----------------190 6.10-7 像散的消除 ----------------190 6.10-8 高分辨本领拍摄 ----------------191 参考文献 ----------------198 ……