C1122007 年 6 月 12 日 星期二 M EM S 编辑：安勇龙 电话： 010- 88558881 E- m ail :anyl @ cena. com . cn 基础电子 期待标准工艺 是由于产品的应用领域极其广泛以及工艺的 不统一，各个细分市场的规模很小，每家公 司即使占据 1 到 2 个产品线的领先地位，一 般最多只能做到几亿美元的规模。例如， TI 占据 DLP 市场，惠普占据打印机喷墨头 市场 ，安华 高科 技占 据滤波 器市 场， ADI 、 ST 、飞思卡尔和美新占据加速度计 市场，楼氏占据麦克风市场，这些企业在单 个市场占据很大的市场份额。 根据 Yole D é velo ppem ent 公司的 报 告， 2 0 0 6 年 全 球销 售 排 行 第一 的 M EM S 制造商是德州仪器，其 M EM S 产 品销售额仅仅 8 . 83 亿美元。不过，随着 M EM S 标准工艺的出现， M EM S 市场将 会迎来更大的发展，产业聚集度可能会有 所提高。 几年前 ，霍 尼韦 尔公司 研究 员兼 M EM S 工业集团的执行理事 Cleo p atra Cab uz 说： “技术上的各自为政成为一种 无法抗拒的趋势，也造成了 M EM S 业界难 于建立一种标准化工艺技术的局面。” 不 过，由于 M EM S 技术与 IC 技术的结合将 会越来越紧密，正如叶雄英教授所言，国内 外正致力于用标准工艺开发更多的产品，一 些业界领袖公司还开发出了可完全用标准 CM OS 技术生产的 M EM S 产品。 例如，飞思卡尔公司自 1996 年以来一 直采用 CM OS 工艺生产加速度计，并已经 开发出新的 CM OS 压力传感器产品线。 Dem etre Kondylis 表示，飞思卡尔利用分 技术区开发惯性和压力传感器，进而实现更 大的设计灵活性……