传统集成电路的封装传统集成电路封装技术 蔡坚 清华大学微电子学研究所 jamescai@tsinghua.edu.cn 概要 封装基础知识 传统集成电路封装流程 金属封装 陶瓷封装 塑料封装 1 芯片粘结（Die Attach） 基本的一级互连技术 Institute of Microelectronics 2 Institute of Microelectronics 微电子封装 从管芯到集成电路的过程 管芯 单芯片封装 圆片 电测试 包装与运输 Institute of Microelectronics 3 Institute of Microelectronics 4 封装实例 从芯片到系统 Discrete L,C,R Packaged IC Intel微处理器 Institute of Microelectronics IC Package 5 Board Assembly Institute of Microelectronics System Assembly Fundamentals of microsystems packaging, Dr. Rao Tummulao 6 1 集成块对IC芯片 = 身体对大脑 人 大脑 身体 集成块对IC芯片 = 身体对大脑 微电子 IC 芯片 集成块 电力供应 信号传递 塑封料保护 散热片 Fundamentals of microsystems packaging, Dr. Rao Tummulao Institute of Microelectronics 8 心血管系统 中枢神经系统 头盖骨 头发 From: Polymers in Microelectronic Packaging, Dr. Quinn Tong Institute of Microelect……