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50例微波器件失效分析结果汇总与分析第25卷第4期2005年11月Vol.25,No.4固体电子学研究与进展Nov.,2005RESEARCH&PROGRESSOFSSE射频与微波50例微波器件失效分析结果汇总与分析来萍李萍张晓明李少平徐爱斌施明哲牛付林郑廷Ξ(中国电子产品可靠性与环境试验研究所,电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室,广州,510610)2005203207收稿,2005205212收改稿摘要:对约50例微波器件失效分析结果进行了汇总和分析,阐述了微波器件在使用中失效的主要原因、分类及其分布。汇总情况表明,由于器件本身质量和可靠性导致的失效约占80%,其余20%是使用不当造成的。在器件本身的质量和可靠性问题方面,具体失效机理有引线键合不良、芯片缺陷(包括沾污、裂片、工艺结构缺陷等)、芯片粘结、管壳缺陷、胶使用不当等;在使用不当方面,主要是静电放电(ESD)损伤和过电损伤(EOS),EOS损伤中包括输出端失配、加电顺序等操作不当引入的过电应力等。关键词:微波器件;失效分析;汇总分析中图分类号:TN323;TN454.06文献标识码:A文章编号:100023819(2005)042475206AReviewofFiftyFailureAnalysisCasesofMicrowaveDevicesLAIPingLIPingZHANGXiaomingLIShaopingXUAibinSHIMingzeNIUFulin……