半导体器件应用中的可靠性及失效分析 |半导体器件应用中的可靠性及失效分析 | |[pic] | |2001-11-23　骊山微电子公司 马璇（西安710075） | | | |摘要本文统计分析了引起半导体器件失效的一些主要失效原因,阐明了失效分析在 | |提高半导体器件和电子产品质量与可靠性方面所发挥的重要作用。 | |关键词半导体器件的可靠性失效分析 | |1前言 | |    半导体器件失效分析就是通过对失效器件进行各种测试和物理、化学、金相试| |验，确定器件失效的形式（失效模式），分析造成器件失效的物理和化学过程（失| |效机理），寻找器件失效原因，制订纠正和改进措施。加强半导体器件的失效分析| |，提高它的固有可靠性和使用可靠性，是改进电子产品质量最积极、最根本的办法| |，对提高整机可靠性有着十分重要的作用。 | |    本文以航天总公司半导体器件失效分析中心近年来所完成的一部分失效分析案| |例为基础，统计分析了引起半导体器件失效的一些主要失效原因，以一些具体分析| |实例说明了失效分析在提高半导体器件……