集成电路测试(1)<?xml:namespace prefix = o ns = "urn:schemas-microsoft-com:office:office" />
1、ATE的印象。
大学毕业的第一个工作,就是做集成电路测试。第一次进入集成电路生产线,第一次接触到轰轰乱叫得ATE,所以ATE留在我记忆中的印象一直是一个巨大的噪音源。
单位的ATE是从国外进口的,据说花了几百万美金,而且当时是对中国禁运的。后来单位负责维修ATE的人跳槽了,没人敢碰这个机器。当时我也是初生牛犊不怕虎,把几本原理图、说明书彻底读了一遍,基本都消化了,才发现其实测试系统并没有那么复杂。以后测试系统出现什么故障,我们都能自己解决了,找到出现故障的器件为止。也是从此开始做了几年测试部门的主管。对测试有了一些感性的认识。不过我一直觉得测试其实技术含量不高,这也是我后来开始从事VLSI设计的原因。但是毕竟近10年的积累,还是对测试技术有一点了解。但是这些年技术还是进步了很多,我的那点知识估计也有点过时了,很想和大家交流交流,提高提高。
2、ATE概述
Ø ATE的含义:
ATE是Auto Test Equipment的简称,主要是来测试集成电路的功能和交直流参数的。一般都可以和prober和Handler相连,这样就可以分别测试wafer或者封装好的package了。ATE有很多的种类,我接触过的主要是测试数字类的测试系统,也使用过模拟电路的测试系统,但说实在话,不太明白。
Ø ATE的指标:
ATE基本都是进口的,也有国产的,但是很简单,只能测试功能和简单的交直流参数。ATE重要的指标主要包括测试通道数量(可以测试多少管脚),测试频率,测试码存储容量,还有就是测试精度(时间、电流、电压)。
Ø 主要厂家:
比较有名的ATE厂家有Teradyne(泰瑞达),Agilent(安捷伦),Advantest(爱德万), Schlumberger,Credence,横河电机等。这其中,我使用过后3家的测试系统。
Ø 数字类ATE种类:(模拟类ATE不太了解)
根据所测VLSI的种类的不同,一般分为:
SoC test system-----------测试各种类型数字电路
Memory Test System----专门测试存储器
也有一些简单的测试系统,主要目的是为了分析故障,这样的测试系统很多不能直接连接探针台或机械手。
(准备写的内容)
3、测试系统的构成
4、测试程序的编制
5、DFT技术
6、存储器的测试技术
7、FPGA的测试技术
8、HardCopy方法
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