原创 奥松电子气体质量流量控制器该如何选择？

奥松电子在MEMS智能传感器领域深耕20余年，持续为客户提供品质优良的传感器产品，并不断进行技术创新，采用自主研发的MEMS质量流量芯片，开发了一系列气体质量流量控制器产品。这些MFC产品对于半导体、光伏、高端装备制造、医疗设备、工业自动化等工艺精密和环境敏感的领域来说，产品自身的灵敏度、精确度及优良的性能起着至关重要的作用。

AS200气体质量流量控制器

• 流量范围覆盖多个量程，从100SCCM到300SLM（可定制），能适应多种场景需求
• 可同时支持数字信号，1～5V或4～20mA模拟信号，方便客户选择
• 使用双电源（±15 VDC）或单电源（+15～+28 VDC）
• 支持自动故障报警，多气体多量程
• 精度高达±1%
• 免费提供上位机软件
• 1×10-10 Pa·m3 / sec H的低泄露率，气密性好，保障生产安全

AMC2000气体流量控制器

• 量程从100SCCM到5SLM，可定制
• 重复性好，稳定可靠
• 支持多种气体监测测量控制
• 标准Modbus-RTU通信
• 质量流量与温度集成测量监测控制
• 更换了底座结构，优化了流道设计，使流量更加稳定
• 搭载了LED数码管进行读数显示，并对控制状态一目了然。
• 加载了按键操作，设置相关参数，简单便捷。

选购指南

适用场景不同

AS200适用于多种常规气体、混合气体及腐蚀性气体，量程规格很多，精度高，可以用于对气体质量流量的精密控制和测量，非常适用于半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域。其典型的应用场合包括：集成电路工艺设备，如外延、扩散、等离子刻蚀、溅射、离子注入和各种CVD等设备；其他行业设备，如光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及其它分析仪器等。

AMC2000是针对微小气体流量的测量与控制，可广泛应用于高校科研、消防、环境监测、烟草、智慧农业、食品、医药等行业的质量流量控制监测。

客户可根据自己应用的实际场景选择合适的量程范围和精度的产品。