本文采用TSMC 0.18 μmCMOS工艺设计了一种起振快速、超低功耗、带有自动校准电路的RC振荡器。本次设计的振荡器内部MOS管工作在亚阈值区域以达到降低芯片功耗的目的，最终芯片总电流消耗为0.15 μA。同时，采用自动校准电路补偿了温度差异、工艺偏差、电压波动对于振荡器输出频率的影响。校准后，输出频率偏差控制在1%以内。该振荡器能够实现精准的频率输出，满足高精度、高稳定度的频率要求。