介绍一种基于MEMS 技术的倾角传感器SCA103T 的基本工作原理,利用MSC1214 单片机通过硬件电路设计,结合软件补偿的办法实现的数字式倾角传感器可适用于±30°的大角度测量。实验表明其非线性度<1FS%,零点输出< 0.05° ;零位电压< 5mv ;零点漂移< 0.02° /h。