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半导体缺陷解析及中英文术语一览
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时间:2019-08-06
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资料介绍
一、半导体缺陷 1.位错:位错又可称为差排(英语:dislocation),在材料科学中,指晶体材料的一种内部微观缺陷,即原子的局部不规则排列(晶体学缺陷)。从几何角度 看,位错属于一种线缺陷,可视为晶体中已滑移部分与未滑移部分的分界线,其存在对材料的物理性能,尤其是力学性能,具有极大的影响。 产生原因:晶体生长过程中,籽晶中的位错、固-液界面附近落入不溶性固态颗粒,界面附近温度梯度或温度波动以及机械振动都会在晶体中产生位错。在晶体生长后,快速降温也容易增殖位错。(111)呈三角形;(100)呈方形;(110)呈菱形。 2.杂质条纹:晶体纵剖面经化学腐蚀后可见明、暗相间的层状分布条纹,又称为电阻率条纹。
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