由于非线性摩擦力的影响，高精度的直线电机滑台在低速运动时跟踪精度会受到较大的影响。从实际运用的角度出发，在传统的Stribeck摩擦数学模型的基础上引入位置参数建立新的模型，对非线性摩擦力进行补偿，并根据模型的特点设计前馈积分控制器进行系统辨识和补偿。采用Lyapunov函数和LaSalle不变性原理分析系统的稳定性。仿真结果表明：采用该模型提高了滑台的跟踪性能。