位移测量，高精度位移传感器 第 20 卷 　 第5期 重 　庆 　工 　学 　院 　学 　报 2006 年 5 月 Vol . 20 　No. 5 Journal of Chongqing Institute of Technology May 2006 【本刊专稿】 Ξ 时栅位移传感器研究 彭东林 ,刘小康 ,张兴红 ,陈锡候 ( 重庆工学院 电子信息与自动化学院 ,重庆 　400050) 摘要 : 为了解决传统测量技术对精密制造的过分依赖问题 ,研究者经过多年努力研制成功一种全 新原理的位移传感器 ―――时栅传感器 . 实践表明它具有高精度低成本和智能化等显著优点 ,目前 正在产品化过程之中 . 关　键　词 :时栅 ; 传感器 ; 精密测量 中图分类号 :TP21 　　　　文献标识码 :A 文章编号 :1671 - 0924 (2006) 05 - 0001 - 04……