基于硅MEMS技术的麦克风简化音频设计 • 基于硅MEMS技术的麦克风简化音频设计 | | | | |      传统驻极体电容器麦克风(ECM)作为一种机电元件一直以来都用于 | |数以十亿计的手机、笔记本电脑等便携式电子设备中。不过，过去50年间| |，ECM始终没有什么根本性变化，而且，由于存在大量的机械和环境噪声 | |问题，它在新型便携式设备中的功能性受到限制，成为音频系统设计人员| |、机械设计人员以及制造商的关键“痛点”。 | |      本文将描述设计人员和制造商如何能够利用基于CMOS(互补金属氧 | |化物半导体)MEMS(微机电系统)技术的下一代麦克风来克服ECM的众多相关| |问题。 | |麦克风技术的演变：从ECM到硅晶技术 | |      传统ECM是一个金属罐，由一层可移动的永久充电振膜和一块与之 | |平行的刚性背板以及场效应晶体管(FET)构成，如图1所示。声波使振膜弯| |曲，改变振膜和背板之间的气隙间距，从而使振膜和背板之间的电容发生| |改变，这种改变以电压变化的形式输出，可反映出进入声波的频率和幅度| |。 | |       图1所示为一典型的音频系统设计，其中，FET的源极接地，漏极 | |一般通过一个2.2k的电阻偏置。 | ……