DFM纳米工艺可制造性设计EDA技术 田之勤 应用工程部经理 Mentor Graphics 明导（上海）电子科技有限公司 1、概论 近几年来，可制造性设计（DFM，design for manufncturability）一直是全球 EDA 业界最热门的题材。似乎任何产品只要跟 DFM 沾上边，马上就修成正果，得道 升天。综观诸子百家对于 DFM 的定义则是见仁见智，莫衷一是。就从各家 EDA 公司的网页上进行了解，DFM 可以是优化标准单元库的成品率，或是压缩版图， 也有说是优化晶圆映射(Wafer Mapping)，以至于平坦化填充，以及时序收敛。很 明显的，就以上所涵盖的领域来说并没有一个交集。也由此可知，DFM 事实上 是一个非常广阔的领域。因此，在开始谈 DFM 之前就必须先对本篇所提及的 DFM 做一个明确的定义。 早在1999年Singer公司(没错!胜家缝纫机公司)国际产品部经理James G. Bralla在 著作“The Design for Manufacturability Handbook” 中给与了DFM这个定义“DFM 意味着及早在设计的环节中处理生产所发生的问题， 以及整合制造的考虑以及考 虑在设计当中已达到更高的成品率的产品。”虽然现在半导体产业比较关注手机 而不是缝纫机，不过对于DFM宏观上的定义，基本上是如出一辙的。 对于Mentor Graphics来说， DFM解决方案是为客户提供一个涵盖设计以及制造信 息的沟通平台。使设计者能在早期预见不同的设计方案在制造方面所带来的影 响，从而选择出对于工艺变异能有更高容忍度的产品。 Random Particle Interactions Systematic Process Interactions Parametric Performance Interactions 归纳目前常见的……