BioMEMS Outline BioMEMS和Microfluidics导论 1. 基本概念 岳瑞峰 2. Biomedical MEMS 3. 微流控芯片实验室 微纳器件与系统研究室 清华大学微电子学研究所 yuerf@tsinghua.edu.cn 1 2 1. 基本概念 BioMEMS MEMS (microelectromechenical system) 微传感器，微执行器以及信号处理电路和 面向生……