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  • 半导体制程RCA清洗IC
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    时间：2019.05.16
    上传者：奔跑的红烧肉
    圆清洗是以整个批次或单一晶圆，藉由化学品的浸泡或喷洒来去除脏污，并用超纯水来洗涤杂质，主要是清除晶片表面所有的污染物
    半导体
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