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  • 半导体制程RCA清洗IC
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    时间：2019.05.16
    上传者：奔跑的红烧肉
    圆清洗是以整个批次或单一晶圆，藉由化学品的浸泡或喷洒来去除脏污，并用超纯水来洗涤杂质，主要是清除晶片表面所有的污染物
    半导体
  • 详细解读半导体全制程介绍
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    时间：2019.05.16
    上传者：奔跑的红烧肉
    基本晶圆处理步骤通常是晶圆先经过适当的清洗（Cleaning）之后，送到热炉管（Furnace）内，在含氧的环境中，以加热氧化（Oxidation）的方式在晶圆的表面形成一层厚约数百个的二氧化硅层，紧
    半导体
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