原创 硅圆的清洗程序

引言

目前，英思特公司正在研究一种定义和实现质量单位（公斤）的新方法。本质上，通过固定NA的数值，千克可以定义为{NA}*1000/12碳-12原子的质量。一个硅球体用于实现基于NA的千克。在为了实现这一点，适当的处理硅球，包括清洗是非常重要的。硅球的处理程序包括检查、清洗、储存等。本文重点描述硅圆的清洗。

硅球的清洗方法

为了准备硅圆的清洁，一个清洁的工作空间必须配备一个实验室托盘和一个带有PEEK（聚醚醚酮）轴承的清洁架。在启动支架之前，需要用与硅球相同的方法进行清洗和清洗。此外，还必须使用清洁的玻璃烧杯。用于清洗的反OP 163是一种pH中性、无盐的精密光学元件清洗浓缩物。由于有特殊的表面活性剂，它提供了玻璃表面的完全润湿性，因此，保证了彻底的清洁和去除轻微粘附的有机和无机残留物，如指纹、灰尘等。应在实际清洗前不久将液体注入烧杯，以减少污染的危险。

图1 运输容器

图1运输容器用于清洗后储存和运输到实验室，底座由PEEK制成，并覆盖有微纤维垫，以避免硅球的表面划伤。

在清洗时，使用了直径为60毫米的微细纤维垫。这些只是现在才准备就绪。用蒸馏水预冲洗后，微纤维垫用解氧质溶液进行清洗过程。清洗本身是通过施加光压力和绕圈移动微细纤维垫来进行的。

球体被提升和翻转，这样底部也可以被清洁。成功清洁球体后，清洁垫会被扔掉。

在用蒸馏水冲洗手套以去除表面活性剂后，再用蒸馏水冲洗手套本身几次。然后，将手套用乙醇冲洗并干燥。接下来，用乙醇冲洗硅球好几次。除了干燥更快，乙醇的均匀干燥是一个成功清洗的标志。为了完成这个过程，用微纤维布抬起并干燥。此时应避免将球体与手套直接接触。出于安全考虑，干燥过程要在一个带填充物的塑料盒子上进行。然后将清洗过的球体放在旋转板上，以进行最终检查。在最后检查期间，如有必要，可用空气波纹管去除任何灰尘颗粒。一个保护性的玻璃钟被放置在现在已经清洗过的球体上。

图2 将硅球放置在运输容器的底座上

图3 组装运输容器的盖，不要接触硅球，封装

 江苏英思特半导体科技有限公司主要从事湿法制程设备，晶圆清洁设备，RCA清洗机，KOH腐殖清洗机等设备的设计、生产和维护