近日,红点新材隆重推出第二代多孔石墨,解决碳化硅长晶包涵体问题及相关缺陷,推动客户提质增效,创造竞争优势。
多孔石墨作为一种关键工艺调控材料,对碳化硅长晶的缺陷控制和生长调控发挥着重要作用:
1. 减少碳包裹物缺陷 :在PVT法长晶过程中,原料粉体分解会形成游离碳颗粒,这些颗粒会随气流上升进入晶体界面形成包裹物缺陷。多孔石墨内部曲折的孔隙通道可以有效阻挡碳颗粒,降低晶体缺陷密度。
2. 调整气相组分布:通过多孔石墨表面均匀的孔隙结构,可调整物质流的扩散速率和气流分布,避免局部过饱和导致的晶体缺陷,并优化晶体形态。
另外,多孔石墨还有调节温度场,调控晶体生长速度等重要作用。
红点新材是一家专注于半导体及新能源领域关键碳基材料研发和生产的高新技术企业,执行IATF16949体系标准,主要产品有高纯石墨粉,吸附催化载体,多孔石墨,碳基复合材料等。其供应的多种规格多孔石墨产品,现已用于6寸、8寸、12寸碳化硅的批量生产。
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