原创 本土设备商，别让“小毛病”砸了招牌

近两年本土设备商的技术能力取得了长足进步，尤其在产业化方面更是有了突破性进展，可喜可贺。但随着国内主流生产线上本土设备的出现，设备的可靠性、配套工艺的成熟度等正在经受远超先前试验室阶段的考验。暴露出的工艺不稳定、服务能力跟不上等软性问题解决能力，如果不能尽快得到提升，那对真正树立起本土设备的招牌是很不利的。

　　日前，在一次外出采访旅途中偶遇一家本土电源芯片设计公司的测试经理。海阔天空瞎侃后，各自“职业病”使然——聊起了本土半导体设备话题。至此，这位老兄好生委屈：就为采购了一家本土知名设备商的电阻率测试仪，因软件中的bug厂家长时间无法解决而被老板责怪， “为什么要买国产设备！”

　　我们不能用民族情结去责备该公司老板的抱怨，毕竟耽误了交货期是老板失去了白花花的银子，何况这位老板正在为生存下去打拚着。“我是出于好心为公司节省设备采购资金，而且这家公司的测试仪性能也确实不错，从功能上说一点不比进口设备差，就是因为软件上的一点小毛病，又迟迟解决不了……”这位测试经理很无
奈。

　　其实，对于刚起步的本土设备在应用过程中出点这样或那样的小毛病，用户是可以理解的。但这些小毛病你长时间解决不了，就有点说不过去了，因为这是服务意识问题而非技术能力有限所致。在当今的买方市场下，产业链上的各个环节只有想着法为你下游用户方便赚到钱后，才能实现自己的赚钱目的。对“一锤子买卖”津津乐道的设备商是没生命力的，连Applied Materials、ASML等这些顶级设备商都不敢夸下海口“再烂的设备都能卖出去”，处于起步阶段的本土设备商又有何资本向你的用户摆谱呢。希望国人能认真体会外来者在列举中国市场策略时口口声声的“提高贴身服务能力”的深层含义。

　　今年3月中电集团45所联手上海微高精密机械工程有限公司联合举办了一个用户恳谈会。在100多人出席的会场上，振兴中国半导体设备业的呼声及决心着实令人感动，更有业者明确表态，“国内只要有替代产品，就一定采用国产设备。”可见，本土业者对国产半导体制造设备支持力度之坚定，更甭提政府方面的扶持决心了。

　　上海微高在会上宣布，从2006年起将具备提供整条6英寸生产线所需设备能力。不过，来自包括上海贝岭在内的多家用户在对上海微高设备充分肯定的同时，也提出了中肯的建议：国内设备商目前不要贪大求全而是要做专、做精、做细，以加强产品的可靠性及稳定性，特别是要在配套工艺上提升技术支持能力并缩短服务所需时间。另有代表以韩国设备为例指出，国产设备在价格上并不占明显优势，但在设备的稳定性上却有一定的差距。

　　得不到大生产线验证机会，一直是国产半导体设备改进设备性能、提升产品可靠性的障碍所在。中芯国际总裁张汝京也认为，目前国内设备研发出来后得不到晶圆厂的验证，是其产品难以进入市场的主要原因。为此，张汝京近日郑重宣布：中芯国际愿为国产半导体制造设备厂家提供生产验证平台。据张汝京透露，由中微半导体设备（上海）有限公司、北方微电子和北京中科信电子装备有限公司生产的8英寸离子注入和刻蚀设备目前正在中芯国际天津厂验证、评估。同时，中芯国际目前已开始进行国产光刻胶的验证，与北京有色金属研究院共同合作生产的12英寸高纯度晶圆也已在中芯国际北京厂试用。

　　由此看来，本土设备、材料得不到大生产线验证的困境正在得到转机，张汝京对国产设备也给予了肯定：“中芯国际通过试用表明，这些国产设备一点不比国外的差！中芯国际希望更多地采用自主研发的国产设备。”据悉，中芯国际目前正与这些本土设备厂家合作编写量产资料。一旦设备商拿到量产数据，应该说国产设备进入主流生产线的大门就开启一半了，相信这些本土设备供应商会珍惜这来之不易的试用机会，同时也会积极响应张汝京“设备制造商要与晶圆厂共同努力、积极配合”的呼吁。

　　不过，在这里要提醒本土设备商的是，在“伺候”像中芯国际这样的标杆型用户的同时，要有用设备交换量产数据的思想准备。中芯国际目前正与UTAC展开合作，而UTAC是业内出了名的交换高手，据说供应商除了量产数据外很少有从UTAC拿到试用设备款的。当然，本土设备商更不能因为有了中芯国际出手相助，就产生“傍大款”的心态而怠慢了那些早已采用本土设备的中小型用户。

　　当今中国的电子制造产业正在大力导入“精益制造”（Lean Production，LP）理念，这个起源于日本，并在美国、欧洲工厂中得到发扬的实质内容之一就是，推行全生产过程（包括整个供应链）的质量保证体系，实现产品的零瑕疵。对于微电子产业而言，LP更应成为半导体设备制造商贯彻始终的信念。希望在不久的将来，我们不会再听到“为什么要买国产设备”的责问声。