摘 要:研制出一种利用介质上电润湿(E lectrow etting-on-dielectric, E W O D )机理 的新型开放式离散液滴驱动器,它采用重 掺杂多晶硅制备微电极阵列,氧化硅以及碳氟聚合物薄膜作为复合疏水 介质层,悬挂的细硅铝丝作 为参考零电极。通过控制 施加在微电极阵列上的脉冲电压时序,来精确操作和控制疏水介质层表 面液滴的运动。该器件采用了悬挂线开放式结构,在 空气环境下,在 40 V 低驱动脉冲电压下成功实现了液滴的传输。 关键词:微全分析系统;微流控;介质上电润湿;开放式结构