为了实现MEMS流量传感器集成式高精度数字化输出，设计了一款单环2阶Σ?模数转换器。阐述了MEMS流量传感器工作原理，确定了调制器结构及环路参数。利用dither技术，提高了调制器动态性能。对调制器的各种非理想因素分析，建立非理想模型，仿真结果表明：过采样率为512，调制器信噪比达到106 dB。设计了CIC+IIR抽取滤波器，FPGA验证结果表明，滤波器实现了64倍降采样，滤波器输出数据有效位数达到16 bits。