微波网络分析仪的校准中国科学 E 辑 技术科学 2004, 34(3): 329~336 329 微波网络分析仪的校准* 祝宁华 王幼林 陈振宇 (中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室 , 北京 100083) 摘要 对微波网络分析仪和测试夹具的校准方法和校准过程经常出现的问题 进行了介绍 . 从提高校准精度的角度 , 针对不同的测试端口和相应的校准标准 , 提出了选取校准方法和运算方法的准则 , 同时给出了解决这些问题和提高校准 精度的具体建议 . 发现并通过实验验证直通标准得到的 4 个方程能够同时使用 , 并可以获得精确的结果 . 实验中 , 观察到对同一校准方法 , 采用不同的运算方法 可能导致频率限制问题的出现 . 关键词 校准 微波网络分析仪 散射参数测量 测试夹具 微波网络分析仪已经成为微波网络散射参数测量中最重要的测试仪器 , 几 乎每一个微波技术、无线通信、光通信实验室和研究开发公司都具有微波网络分 析仪. 由于通常采用的微波网络分析仪的测试端口为 3.5 或 2.4 mm同轴线, 被测 网络的输入/输出端口可能为微带线、共面线等, 而不能直接测量, 需要通过测试 夹具进行测试端口的转换 . 此外 , 如果被测网络包括有源器件 , 则需要在测试夹 具中加入偏置和阻抗匹配网络 . 特别是对集成电路芯片和半导体光电子芯片的 测量 , 测试夹具更是必不可少 . 随着测试频率的提高 , 测试夹具的影响已经达到 不可忽略的程度. 这种影响只能通过精心的校准加以消除 . 采用测试夹具时微波 网络分析仪的校准分为两类 . 从理论上讲 , 这两类校准没有本质的区别 . 校准精 度主要取决于所采用的校准标准和运算方法 . 一类是将夹具视为网络分析仪的 一部分 , 直接用与夹具测试端口相应的校准标准和网络分析仪内部的校准程序 进行校准 , 其优点是简单易行, 但所采用的样……