微电子学导论（第四章） 第四章 集成电路制造技术 第四章 集成电路制造技术 集成电路设计与集成电路工艺密切相关，在进一步介绍 典型集成电路之前，需要先介绍它是如何制造的。 Ⅰ . 集成电路结构与硅平面工艺 N P N n 集成电路结构与硅平面工艺； 1. 硅平面工艺 n 集成电路基本工艺技术； NPN晶体管原理图 ● 早期晶体管工艺 n 集成电路工艺集成技术； 发射……